直写光刻装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200720037806.3

申请日：

2007-05-23

公开(公告)号：

CN201083960Y

公开(公告)日：

2008-07-09

发明(设计)人：

刘文海刘军胡亦宁杨丹宁

申请人：

申请人地址：

230001安徽省合肥市经济技术开发区乡村花园会所二楼

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

合肥金安专利事务所

代理人：

金惠贞

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-23	专利权的终止	专利权有效期届满号牌文件类型代码:1611 号牌文件序号:101729159787 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2007200378063 申请日:20070523 授权公告日:20080709 终止日期:无
2008-07-09	授权	授权

共 50 条

[1]

综合式直写光刻装置 [P].

刘文海 ;

刘军 ;

胡亦宁 ;

杨丹宁 .

中国专利 :CN201083959Y ,2008-07-09

[2]

具有对焦机构的直写光刻装置 [P].

刘文海 .

中国专利 :CN201083961Y ,2008-07-09

[3]

具有对焦机构的直写光刻装置 [P].

刘文海 .

中国专利 :CN101126905B ,2008-02-20

[4]

直写光刻装置 [P].

何少锋 ;

靳莉 .

中国专利 :CN101650535A ,2010-02-17

[5]

综合式直写光刻方法 [P].

刘文海 ;

刘军 ;

胡亦宁 ;

杨丹宁 .

中国专利 :CN100561356C ,2007-10-17

[6]

具有对焦机构的新型直写光刻装置 [P].

刘文海 .

中国专利 :CN101158817A ,2008-04-09

[7]

具有对焦机构的新型直写光刻装置 [P].

刘文海 .

中国专利 :CN201097106Y ,2008-08-06

[8]

直写光刻系统和直写光刻方法 [P].

浦东林 ;

朱鹏飞 ;

朱鸣 ;

邵仁锦 ;

张瑾 ;

王冠楠 ;

陈林森 .

中国专利 :CN112987501B ,2021-06-18

[9]

一种新型高速数字扫描直写光刻装置 [P].

李平贵 ;

张国龙 ;

马迪 .

中国专利 :CN203825365U ,2014-09-10

[10]

一种缩短曝光时间的直写光刻装置 [P].

王伟 .

中国专利 :CN210954610U ,2020-07-07

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