溅射镀膜设备及其镀膜腔室

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710136620.1

申请日：

2017-03-08

公开(公告)号：

CN106893993B

公开(公告)日：

2017-06-27

发明(设计)人：

刘壮崔骏张撷秋杨世航陈旺寿李霖顾光一

申请人：

申请人地址：

518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1456 C23C1450

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

余哲玮

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-21	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/35 登记生效日:20190603 变更事项:专利权人变更前权利人:深圳先进技术研究院变更后权利人:西安联中易建美装建筑工程管理有限公司变更事项:地址变更前权利人:518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号变更后权利人:710000 陕西省西安市曲江新区雁翔路以东南三环以北黄渠头南路以南金花路以西旺座曲江第2幢1单元23层12301号房
2017-07-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101736028722 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2017101366201 申请日:20170308
2019-07-30	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/35 变更事项:专利权人变更前:西安联中易建美装建筑工程管理有限公司变更后:西安中易建科技有限公司变更事项:地址变更前:710000 陕西省西安市曲江新区雁翔路以东南三环以北黄渠头南路以南金花路以西旺座曲江第2幢1单元23层12301号房变更后:710000 陕西省西安市曲江新区雁翔路旺座曲江C座26层
2017-06-27	公开	公开
2022-09-16	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/35 变更事项:专利权人变更前:西安中易建科技有限公司变更后:西安中易建科技集团有限公司变更事项:地址变更前:710000 陕西省西安市曲江新区雁翔路旺座曲江C座26层变更后:710000 陕西省西安市曲江新区雁翔路旺座曲江C座26层
2019-01-25	授权	授权

共 50 条

[1]

多腔室溅射镀膜设备 [P].

高佳 ;

周征华 ;

宋加杰 ;

赵金雷 ;

王随随 .

中国专利 :CN119332222A ,2025-01-21

[2]

一种双腔室溅射镀膜设备和镀膜工艺 [P].

张心凤 ;

刘洋 ;

汪鹏 .

中国专利 :CN119392198A ,2025-02-07

[3]

一种双腔室溅射镀膜设备 [P].

张心凤 ;

刘洋 ;

汪鹏 .

中国专利 :CN223280929U ,2025-08-29

[4]

溅射镀膜装置和设备及其溅射镀膜组件 [P].

宗坚 .

中国专利 :CN115074680A ,2022-09-20

[5]

溅射镀膜设备 [P].

杨文举 .

中国专利 :CN208632637U ,2019-03-22

[6]

一种四腔室磁控溅射静态镀膜设备及镀膜方法 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN120311160A ,2025-07-15

[7]

溅射镀膜设备 [P].

傅志坚 ;

苏良民 ;

李峰 .

中国专利 :CN208308945U ,2019-01-01

[8]

溅射镀膜设备 [P].

宗坚 .

中国专利 :CN213203180U ,2021-05-14

[9]

溅射镀膜设备 [P].

睢智峰 ;

解文骏 ;

周云 ;

潘学勤 ;

宋维聪 .

中国专利 :CN120311156B ,2025-09-02

[10]

溅射镀膜设备 [P].

高佳 .

中国专利 :CN114525486A ,2022-05-24

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