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溅射镀膜设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021050327.7
申请日：
2020-06-09
公开(公告)号：
CN213203180U
公开(公告)日：
2021-05-14
发明(设计)人：
宗坚
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市惠山经济开发区玉祁配套区东环路182号
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
代理机构：
宁波理文知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33244
代理人：
罗京;张冉冉
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-14 | 授权 | 授权 |