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溅射镀膜设备及其电极装置和镀膜方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010516230.9
申请日：
2020-06-09
公开(公告)号：
CN113774342A
公开(公告)日：
2021-12-10
发明(设计)人：
宗坚
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市惠山经济开发区玉祁配套区东环路182号
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
骆苏华
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20200609 |
| 2021-12-10 | 公开 | 公开 |