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溅射镀膜装置和设备及其溅射镀膜组件
被引：0
申请号：
CN202110269016.2
申请日：
2021-03-12
公开(公告)号：
CN115074680A
公开(公告)日：
2022-09-20
发明(设计)人：
宗坚
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市惠山经济开发区玉祁配套区东环路182号
IPC主分类号：
C23C1434
IPC分类号：
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
骆苏华
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-20 | 公开 | 公开 |