溅射镀膜设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510804229.9

申请日：

2025-06-17

公开(公告)号：

CN120311156A

公开(公告)日：

2025-07-15

发明(设计)人：

睢智峰解文骏周云潘学勤宋维聪

申请人：

陛通半导体设备（苏州）有限公司

申请人地址：

215413 江苏省苏州市太仓市大连东路36号3#1-2层

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/04

代理机构：

上海十蕙一兰知识产权代理有限公司 31331

代理人：

卢炳琼

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-02	授权	授权
2025-08-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20250617
2025-07-15	公开	公开

共 50 条

[1]

溅射镀膜设备 [P].

睢智峰 ;

解文骏 ;

周云 ;

潘学勤 ;

宋维聪 .

中国专利 :CN120311156B ,2025-09-02

[2]

溅射镀膜设备 [P].

杨文举 .

中国专利 :CN208632637U ,2019-03-22

[3]

溅射镀膜设备 [P].

傅志坚 ;

苏良民 ;

李峰 .

中国专利 :CN208308945U ,2019-01-01

[4]

溅射镀膜设备 [P].

宗坚 .

中国专利 :CN213203180U ,2021-05-14

[5]

溅射镀膜设备 [P].

高佳 .

中国专利 :CN114525486A ,2022-05-24

[6]

溅射镀膜装置和设备及其溅射镀膜组件 [P].

宗坚 .

中国专利 :CN115074680A ,2022-09-20

[7]

真空溅射镀膜设备 [P].

黄国兴 .

中国专利 :CN201704398U ,2011-01-12

[8]

磁控溅射镀膜设备 [P].

王伟 ;

张勇军 ;

魏佳 ;

卢成 ;

陈科 .

中国专利 :CN117721429B ,2024-04-23

[9]

真空溅射镀膜设备 [P].

徐中邦 ;

王福平 .

中国专利 :CN208701195U ,2019-04-05

[10]

塑胶溅射镀膜设备 [P].

高佳 .

中国专利 :CN217479541U ,2022-09-23

← 1 2 3 4 5 →