蒸发源部件及使用该部件的真空沉积装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610141826.5

申请日：

2006-09-30

公开(公告)号：

CN1940123A

公开(公告)日：

2007-04-04

发明(设计)人：

李政烈崔镕中马成乐闵卿旭

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道水原市

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1454 C23C1456

代理机构：

北京铭硕知识产权代理有限公司

代理人：

韩明星;谭昌驰

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-03-14	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101299923933 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2006101418265 公开日:20070404
2007-04-04	公开	公开
2009-02-18	专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)	专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) 变更事项:申请人变更前权利人:三星SDI株式会社变更后权利人:三星移动显示器株式会社变更事项:地址变更前权利人:韩国京畿道水原市变更后权利人:韩国京畿道水原市登记生效日:20090116
2007-05-30	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

用于沉积蒸发材料的蒸发源、真空沉积系统和用于沉积蒸发材料的方法 [P].

安德烈亚斯·洛普 ;

D·哈斯 .

中国专利 :CN110691861A ,2020-01-14

[2]

线性蒸发源及包括线性蒸发源的沉积装置 [P].

安秉九 ;

吴镇浩 ;

尹昌宣 ;

车敏徹 ;

姜有珍 .

中国专利 :CN107686967A ,2018-02-13

[3]

真空沉积方法和真空沉积用密封型蒸发源设备 [P].

高木俊宣 ;

中村宏毅 ;

渡辺宽 ;

福田辰男 .

中国专利 :CN100557068C ,2007-04-11

[4]

蒸发源裂解管、蒸发源装置以及沉积装置 [P].

李博研 ;

韩钰 ;

林舒平 ;

刘晓宇 ;

钟大龙 ;

赵明 .

中国专利 :CN118621268A ,2024-09-10

[5]

真空电弧蒸发源及带有真空电弧蒸发源的电弧蒸发室 [P].

J·维特 .

中国专利 :CN101689468A ,2010-03-31

[6]

真空电弧蒸发源及带有真空电弧蒸发源的电弧蒸发室 [P].

J.维特 .

中国专利 :CN105632859A ,2016-06-01

[7]

线性蒸发源及具有该线性蒸发源的沉积设备 [P].

徐敏逵 ;

韩尚辰 ;

卢喆来 ;

安宰弘 .

中国专利 :CN102102175A ,2011-06-22

[8]

蒸发源和具有该蒸发源的沉积设备 [P].

崔丞镐 ;

郑石源 ;

明承镐 ;

卢喆来 .

中国专利 :CN102102176B ,2011-06-22

[9]

用于真空沉积装置的蒸发设备及包括该蒸发设备的真空沉积装置 [P].

J·维莱特 ;

J-L·居约克斯 ;

D·埃斯特韦 .

中国专利 :CN103526163A ,2014-01-22

[10]

光接收部件及采用该部件的静电复印装置 [P].

桥爪淳一郎 .

中国专利 :CN1088882C ,1996-10-16

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