用于真空沉积装置的蒸发设备及包括该蒸发设备的真空沉积装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310374327.0

申请日：

2013-07-04

公开(公告)号：

CN103526163A

公开(公告)日：

2014-01-22

发明(设计)人：

J·维莱特 J-L·居约克斯 D·埃斯特韦

申请人：

申请人地址：

法国贝松斯

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

北京市中咨律师事务所 11247

代理人：

吴鹏;马江立

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-09-26	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101759946396 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2013103743270 申请公布日:20140122
2014-01-22	公开	公开
2015-07-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101616804394 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2013103743270 申请日:20130704

共 50 条

[1]

用于沉积蒸发材料的蒸发源、真空沉积系统和用于沉积蒸发材料的方法 [P].

安德烈亚斯·洛普 ;

D·哈斯 .

中国专利 :CN110691861A ,2020-01-14

[2]

真空沉积方法和真空沉积用密封型蒸发源设备 [P].

高木俊宣 ;

中村宏毅 ;

渡辺宽 ;

福田辰男 .

中国专利 :CN100557068C ,2007-04-11

[3]

真空沉积装置和使用该真空沉积装置的真空沉积方法 [P].

李济玩 ;

林永昌 ;

李星昊 ;

朴成镐 ;

崔完旭 ;

郑锡宪 .

中国专利 :CN102465252B ,2012-05-23

[4]

用于材料蒸发的组件、真空沉积设备和用于材料蒸发的方法 [P].

佩曼·哈米吉尔 ;

塞巴斯蒂安·斯塔克 .

美国专利 :CN114667366B ,2024-11-29

[5]

用于材料蒸发的组件、真空沉积设备和用于材料蒸发的方法 [P].

佩曼·哈米吉尔 ;

塞巴斯蒂安·斯塔克 .

中国专利 :CN114667366A ,2022-06-24

[6]

用于真空蒸发系统的蒸发装置、用于沉积材料膜的设备和方法 [P].

Y·卢梭 ;

J-L·居约克斯 ;

F·施特梅伦 .

中国专利 :CN111139436A ,2020-05-12

[7]

真空沉积设备和用于真空沉积的方法 [P].

韩政洹 .

中国专利 :CN104278232A ,2015-01-14

[8]

蒸发源部件及使用该部件的真空沉积装置 [P].

李政烈 ;

崔镕中 ;

马成乐 ;

闵卿旭 .

中国专利 :CN1940123A ,2007-04-04

[9]

用于沉积蒸发材料的沉积设备及其方法 [P].

托马斯·德皮希 ;

克莱尔·阿姆斯特朗 ;

弗兰克·施纳彭伯格 .

中国专利 :CN111684103A ,2020-09-18

[10]

用于沉积蒸发材料的沉积设备及其方法 [P].

托马斯·德皮希 ;

克莱尔·阿姆斯特朗 ;

弗兰克·施纳彭伯格 .

美国专利 :CN111684103B ,2024-04-16

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