一种多晶硅薄膜制备工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910453429.9

申请日：

2019-05-28

公开(公告)号：

CN110257908A

公开(公告)日：

2019-09-20

发明(设计)人：

邓碧鑫门小云刘茂王力由佰玲谢艳王聚安武卫

申请人：

申请人地址：

300384 天津市滨海新区高新区华苑产业区（环外）海泰东路12号内

IPC主分类号：

C30B2814

IPC分类号：

C30B2906 C23C16455 C23C1652 C23C1624

代理机构：

天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211

代理人：

杨慧玲

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-20	公开	公开
2019-10-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 28/14 申请日:20190528
2022-03-11	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C30B 28/14 申请公布日:20190920

共 50 条

[1]

一种多晶硅薄膜电极制备工艺 [P].

罗勇 ;

罗嘉玮 ;

李斌 .

中国专利 :CN109576671A ,2019-04-05

[2]

一种多晶硅多晶粒薄膜的制备工艺 [P].

段春艳 ;

唐建生 ;

冯泽君 ;

许继源 ;

陈潇跃 ;

李颖 ;

连佳生 ;

赖华景 ;

谢灏 ;

柳淦元 .

中国专利 :CN111564528A ,2020-08-21

[3]

一种多晶硅薄膜的制备方法及多晶硅薄膜 [P].

高超飞 ;

葛晶涛 ;

刘旭亮 ;

沈文涛 ;

张明照 .

中国专利 :CN108878272A ,2018-11-23

[4]

多晶硅薄膜 [P].

李媛 ;

吴兴坤 ;

郝芳 ;

杨晗琼 .

中国专利 :CN202058744U ,2011-11-30

[5]

一种多晶硅薄膜的制备方法 [P].

万青 ;

黄晋 ;

龚骏 ;

竺立强 ;

李莉 .

中国专利 :CN102249553B ,2011-11-23

[6]

多晶硅薄膜 [P].

赵淑云 ;

郭海成 ;

王文 .

中国专利 :CN102956678A ,2013-03-06

[7]

多晶硅薄膜制备设备 [P].

秦成 .

中国专利 :CN223688419U ,2025-12-19

[8]

一种低温多晶硅薄膜的制备方法及低温多晶硅薄膜 [P].

田雪雁 ;

龙春平 ;

姚江峰 .

中国专利 :CN102651311B ,2012-08-29

[9]

一种多晶硅制备工艺 [P].

潘欢欢 ;

郭宽新 ;

孙海知 ;

宋江 ;

邢国强 .

中国专利 :CN104294355A ,2015-01-21

[10]

一种多晶硅薄膜制作方法及多晶硅薄膜 [P].

任庆荣 ;

李良坚 ;

刘政 .

中国专利 :CN107017153A ,2017-08-04

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