一种多晶硅薄膜电极制备工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811455535.2

申请日：

2018-11-30

公开(公告)号：

CN109576671A

公开(公告)日：

2019-04-05

发明(设计)人：

罗勇罗嘉玮李斌

申请人：

申请人地址：

400700 重庆市北碚区碚南大道203号

IPC主分类号：

C23C1634

IPC分类号：

C23C1640 C30B2814 C30B2906 G01R2912

代理机构：

郑州知己知识产权代理有限公司 41132

代理人：

季发军

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/34 申请日:20181130
2022-04-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 16/34 申请公布日:20190405
2019-04-05	公开	公开

共 50 条

[1]

一种多晶硅薄膜的制备方法 [P].

万青 ;

黄晋 ;

龚骏 ;

竺立强 ;

李莉 .

中国专利 :CN102249553B ,2011-11-23

[2]

一种多晶硅薄膜制备工艺 [P].

邓碧鑫 ;

门小云 ;

刘茂 ;

王力 ;

由佰玲 ;

谢艳 ;

王聚安 ;

武卫 .

中国专利 :CN110257908A ,2019-09-20

[3]

一种利用陶瓷衬底制备多晶硅薄膜的方法 [P].

陈诺夫 ;

杨博 ;

牟潇野 ;

阮绍林 ;

阮正亚 .

中国专利 :CN105448707A ,2016-03-30

[4]

一种多晶硅多晶粒薄膜的制备工艺 [P].

段春艳 ;

唐建生 ;

冯泽君 ;

许继源 ;

陈潇跃 ;

李颖 ;

连佳生 ;

赖华景 ;

谢灏 ;

柳淦元 .

中国专利 :CN111564528A ,2020-08-21

[5]

一种多晶硅薄膜制备方法 [P].

万青 ;

曾梦麟 ;

张雪平 ;

佘鹏 .

中国专利 :CN102071405B ,2011-05-25

[6]

一种多晶硅厚膜的制备方法 [P].

万青 ;

竺立强 ;

龚骏 .

中国专利 :CN102290488A ,2011-12-21

[7]

一种制备多晶硅薄膜的装置 [P].

刘丰 .

中国专利 :CN201444476U ,2010-04-28

[8]

一种制备多晶硅薄膜的方法 [P].

赵淑云 ;

郭海成 ;

王文 .

中国专利 :CN103762173A ,2014-04-30

[9]

一种多晶硅薄膜及其制备方法 [P].

李彦庆 ;

孙守红 ;

余毅 ;

郭同健 ;

何锋赟 ;

张海宇 .

中国专利 :CN117711917B ,2024-05-28

[10]

一种多晶硅薄膜及其制备方法 [P].

李彦庆 ;

孙守红 ;

余毅 ;

郭同健 ;

何锋赟 ;

张海宇 .

中国专利 :CN117711917A ,2024-03-15

← 1 2 3 4 5 →