微波等离子体化学气相沉积中一种可旋转生长金刚石的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911391613.1

申请日：

2019-12-30

公开(公告)号：

CN110938811A

公开(公告)日：

2020-03-31

发明(设计)人：

王宏兴王艳丰

申请人：

申请人地址：

523808 广东省广州市松山湖园区新城路5号1栋1109室

IPC主分类号：

C23C16511

IPC分类号：

C23C1650 C23C1627 C23C16458

代理机构：

西安维赛恩专利代理事务所(普通合伙) 61257

代理人：

刘艳霞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/511 申请日:20191230
2021-01-08	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 16/511 登记生效日:20201225 变更事项:申请人变更前权利人:广东达蒙得半导体科技有限公司变更后权利人:西安德盟特半导体科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:523808 广东省广州市松山湖园区新城路5号1栋1109室变更后权利人:710075 陕西省西安市高新区唐延南路十一号1幢1单元11403室变更事项:申请人变更前权利人:王宏兴
2020-03-31	公开	公开

共 50 条

[1]

微波等离子体化学气相沉积中一种可旋转生长金刚石的装置 [P].

王宏兴 ;

王艳丰 .

中国专利 :CN211284535U ,2020-08-18

[2]

微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置 [P].

于宗旭 .

中国专利 :CN206635410U ,2017-11-14

[3]

微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置 [P].

于宗旭 .

中国专利 :CN106835070A ,2017-06-13

[4]

微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置 [P].

丁海兵 ;

梁瑞 ;

吉忠浩 ;

陆登峰 .

中国专利 :CN118979242A ,2024-11-19

[5]

一种微波等离子体化学气相沉积金刚石膜的装置 [P].

皮超杰 ;

夏震 ;

徐国龙 .

中国专利 :CN206529521U ,2017-09-29

[6]

一种微波等离子体化学气相沉积金刚石的气压控制方法 [P].

王殿 ;

郭立梅 ;

魏宇祥 ;

常志 ;

王飞龙 .

中国专利 :CN120560360A ,2025-08-29

[7]

一种微波等离子体化学气相沉积金刚石粉的反应装置 [P].

丁佩 ;

杨鹏 ;

段向阳 ;

许坤 .

中国专利 :CN220907632U ,2024-05-07

[8]

用于化学气相沉积单晶金刚石高速生长的等离子体聚集装置 [P].

朱嘉琦 ;

李一村 ;

代兵 ;

郝晓斌 ;

刘雪冬 .

中国专利 :CN111979579A ,2020-11-24

[9]

微波等离子体化学气相沉积装置和合成金刚石的方法 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN108588819A ,2018-09-28

[10]

微波等离子体化学气相沉积法生长单晶金刚石用的沉积台 [P].

李成明 ;

赵云 ;

林亮珍 ;

安康 ;

郑宇亭 ;

黑立富 ;

刘金龙 ;

魏俊俊 ;

陈良贤 .

中国专利 :CN206828679U ,2018-01-02

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