一种集成电路三维异质集成芯片及封装方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202010356668.5
申请日
2020-04-29
公开(公告)号
CN111564429A
公开(公告)日
2020-08-21
发明(设计)人
金玉丰 马盛林 孙允恒
申请人
申请人地址
518055 广东省深圳市南山区西丽街道深圳大学城北大园区H栋208室
IPC主分类号
H01L25065
IPC分类号
代理机构
广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205
代理人
黄广龙
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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