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一种高洁净度半导体晶圆自动装载设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111042813.3
申请日：
2021-09-07
公开(公告)号：
CN113488427A
公开(公告)日：
2021-10-08
发明(设计)人：
詹华贵
申请人：
申请人地址：
226000 江苏省南通市开发区园区路8号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
泉州市潭思专利代理事务所(普通合伙) 35221
代理人：
林丽英
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-12 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/677 登记生效日:20220630 变更事项:专利权人 变更前权利人:江苏煜晶光电科技有限公司 变更后权利人:南通煜米激光科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:226000 江苏省南通市开发区园区路8号 变更后权利人:226406 江苏省南通市开发区中兴街道广州路42号432室 |
| 2021-11-02 | 授权 | 授权 |
| 2021-10-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20210907 |
| 2021-10-08 | 公开 | 公开 |