一种半导体晶粒生产加工用的拉晶炉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720452895.1

申请日：

2017-04-27

公开(公告)号：

CN207052573U

公开(公告)日：

2018-02-27

发明(设计)人：

夏倩

申请人：

申请人地址：

518054 广东省深圳市南山区粤海街道高新南一道009号中国科技开发院孵化大楼702

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-14	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20170427 授权公告日:20180227 终止日期:20190427
2018-02-27	授权	授权

共 50 条

[1]

磁极运行式半导体晶粒拉晶炉 [P].

陈建民 ;

张文涛 ;

赵丽萍 ;

李永校 ;

钱俊有 ;

惠小青 ;

蔡水占 ;

王丹 ;

董铱斐 .

中国专利 :CN212505150U ,2021-02-09

[2]

一种半导体晶粒加工用的分选装置 [P].

付关军 .

中国专利 :CN206711875U ,2017-12-05

[3]

一种半导体生产加工用点胶机 [P].

刘增红 ;

常浩 ;

陈春 .

中国专利 :CN221619912U ,2024-08-30

[4]

一种半导体单晶硅的拉晶炉 [P].

姜益群 .

中国专利 :CN113061983A ,2021-07-02

[5]

一种半导体单晶硅的拉晶炉 [P].

姜益群 .

中国专利 :CN215481416U ,2022-01-11

[6]

具有回旋板的半导体晶粒拉晶管 [P].

陈建民 ;

李永校 ;

张文涛 ;

赵丽萍 ;

钱俊有 ;

惠小青 ;

蔡水占 ;

王丹 ;

董铱斐 .

中国专利 :CN212293836U ,2021-01-05

[7]

一种半导体晶棒的拉晶方法 [P].

陈磊 ;

刘栓红 ;

赵丽萍 ;

张文涛 ;

蔡水占 ;

郭晶晶 ;

张会超 ;

陈永平 ;

王东胜 ;

惠小青 ;

辛世明 ;

田红丽 .

中国专利 :CN104831344A ,2015-08-12

[8]

一种半导体生产加工用测试工装 [P].

崔群 ;

王毅 ;

胡学同 ;

李海琳 ;

陆叶兴 .

中国专利 :CN115332132A ,2022-11-11

[9]

一种半导体晶棒拉晶夹具 [P].

温汉军 .

中国专利 :CN212103058U ,2020-12-08

[10]

一种新型半导体生产加工用扩散炉 [P].

黄重毅 .

中国专利 :CN215295814U ,2021-12-24

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