等离子体反应机台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210381362.0

申请日：

2012-10-10

公开(公告)号：

CN102856151B

公开(公告)日：

2013-01-02

发明(设计)人：

杨总胜王春盛江舜彦

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司 72003

代理人：

张艳杰;张浴月

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-01	授权	授权
2013-01-02	公开	公开
2021-09-17	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20121010 授权公告日:20150401 终止日期:20201010
2013-02-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101395920159 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2012103813620 申请日:20121010

共 50 条

[1]

等离子体反应方法和等离子体反应装置 [P].

石川泰男 .

中国专利 :CN115380629A ,2022-11-22

[2]

等离子体反应室 [P].

梁忠棋 ;

张昭升 ;

黄木上 ;

彭顺煌 .

中国专利 :CN1266550C ,2005-01-26

[3]

等离子体反应腔 [P].

聂淼 .

中国专利 :CN103811258A ,2014-05-21

[4]

等离子体反应腔 [P].

江坤盛 ;

林志明 ;

邱志勤 ;

范和安 ;

郑有青 .

中国专利 :CN100389225C ,2006-06-14

[5]

等离子体刻蚀机台 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN203895414U ,2014-10-22

[6]

等离子体反应腔清洗装置及其等离子体反应腔清洗方法 [P].

吴紫阳 ;

苏兴才 ;

文秉述 .

中国专利 :CN102856150B ,2013-01-02

[7]

等离子体反应室及具有其的等离子体装置 [P].

武小娟 .

中国专利 :CN103515179A ,2014-01-15

[8]

等离子体反应装置 [P].

管长乐 .

中国专利 :CN1848372A ,2006-10-18

[9]

一种等离子体产生装置及等离子体机台 [P].

吕吉庆 .

中国专利 :CN118173427A ,2024-06-11

[10]

腔体内衬、等离子体反应腔室和等离子体设备 [P].

肖德志 ;

王建龙 .

中国专利 :CN110838429B ,2020-02-25

← 1 2 3 4 5 →