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半导体器件生产系统和半导体器件生产方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN01110116.4
申请日：
2001-03-27
公开(公告)号：
CN1320950A
公开(公告)日：
2001-11-07
发明(设计)人：
小川澄男
植木稔
原真一
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
H01L2100
IPC分类号：
代理机构：
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人：
穆德骏;方挺
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2001-11-07 | 公开 | 公开 |
| 2006-07-19 | 授权 | 授权 |
| 2008-07-23 | 专利申请权、专利权的转移(专利权的转移) | 专利申请权、专利权的转移(专利权的转移) 变更事项:专利权人 变更前权利人:日本电气株式会社 变更后权利人:尔必达存储器株式会社 变更事项:地址 变更前权利人:日本东京 变更后权利人:日本东京 登记生效日:20080613 变更事项:共同专利权人 变更前权利人:恩益禧电子股份有限公司 变更后权利人:无 |
| 2016-05-18 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101661344233 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL011101164 申请日:20010327 授权公告日:20060719 终止日期:20150327 |
| 2001-08-01 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |
| 2013-09-25 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101662251924 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL011101164 变更事项:专利权人 变更前权利人:尔必达存储器株式会社 变更后权利人:PS4拉斯口有限责任公司 变更事项:地址 变更前权利人:日本东京 变更后权利人:卢森堡卢森堡市 登记生效日:20130902 |