膜厚测定装置以及膜厚测定方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980111320.1

申请日：

2009-07-24

公开(公告)号：

CN101981406A

公开(公告)日：

2011-02-23

发明(设计)人：

山田健夫山本猛山仓崇宽林真治河合慎吾

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

G01N2127

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

李辉;黄纶伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-05-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101073088028 IPC(主分类):G01B 11/06 专利申请号:2009801113201 申请日:20090724
2013-10-16	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101665855145 IPC(主分类):G01B 11/06 专利申请号:2009801113201 申请公布日:20110223
2011-02-23	公开	公开

共 50 条

[1]

膜厚测定装置和膜厚测定方法 [P].

山田健夫 ;

山本猛 ;

河合慎吾 .

中国专利 :CN103459976A ,2013-12-18

[2]

膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P].

土屋邦彦 ;

荒野谕 ;

大塚贤一 .

日本专利 :CN117355724A ,2024-01-05

[3]

膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P].

黑川政秋 ;

安井润 ;

见持圭一 ;

盐谷成敏 .

中国专利 :CN103765156B ,2014-04-30

[4]

膜厚测定方法和膜厚测定装置 [P].

三浦真德 ;

高柳顺 .

中国专利 :CN108627105A ,2018-10-09

[5]

膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P].

大冢贤一 ;

森岛康太 ;

土屋邦彦 .

日本专利 :CN120604098A ,2025-09-05

[6]

膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P].

大冢贤一 ;

森岛康太 ;

土屋邦彦 ;

高桥辉雄 .

日本专利 :CN120500609A ,2025-08-15

[7]

膜厚测定装置、膜厚测定系统及膜厚测定方法 [P].

青木诚志 .

日本专利 :CN120721008A ,2025-09-30

[8]

膜厚测定装置、研磨装置以及膜厚测定方法 [P].

佐鸟博俊 ;

石井游 ;

金马利文 ;

木下将毅 .

中国专利 :CN113664713A ,2021-11-19

[9]

膜厚测定装置、成膜系统以及膜厚测定方法 [P].

菊池祐介 .

中国专利 :CN114941133A ,2022-08-26

[10]

膜厚测定装置和膜厚测定方法 [P].

八寻俊一 ;

尾上幸太朗 ;

田中茂喜 .

中国专利 :CN106017337A ,2016-10-12

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