膜厚测定装置及膜厚测定方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380090986.3

申请日：

2023-10-20

公开(公告)号：

CN120604098A

公开(公告)日：

2025-09-05

发明(设计)人：

大冢贤一森岛康太土屋邦彦

申请人：

浜松光子学株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

G01B11/06

IPC分类号：

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

杨琦

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-05	公开	公开
2025-09-23	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/06申请日:20231020

共 50 条

[1]

膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P].

土屋邦彦 ;

荒野谕 ;

大塚贤一 .

日本专利 :CN117355724A ,2024-01-05

[2]

膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P].

大冢贤一 ;

森岛康太 ;

土屋邦彦 ;

高桥辉雄 .

日本专利 :CN120500609A ,2025-08-15

[3]

膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P].

黑川政秋 ;

安井润 ;

见持圭一 ;

盐谷成敏 .

中国专利 :CN103765156B ,2014-04-30

[4]

膜厚测定装置、膜厚测定系统及膜厚测定方法 [P].

青木诚志 .

日本专利 :CN120721008A ,2025-09-30

[5]

膜厚测定装置以及膜厚测定方法 [P].

山田健夫 ;

山本猛 ;

山仓崇宽 ;

林真治 ;

河合慎吾 .

中国专利 :CN101981406A ,2011-02-23

[6]

膜厚测定方法和膜厚测定装置 [P].

三浦真德 ;

高柳顺 .

中国专利 :CN108627105A ,2018-10-09

[7]

膜厚测定装置和膜厚测定方法 [P].

山田健夫 ;

山本猛 ;

河合慎吾 .

中国专利 :CN103459976A ,2013-12-18

[8]

膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P].

大塚贤一 ;

中野哲寿 ;

渡边元之 .

中国专利 :CN102483320A ,2012-05-30

[9]

膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P].

中村共则 ;

大塚贤一 ;

荒野谕 ;

土屋邦彦 .

中国专利 :CN115104000A ,2022-09-23

[10]

膜厚测定装置和膜厚测定方法 [P].

八寻俊一 ;

尾上幸太朗 ;

田中茂喜 .

中国专利 :CN106017337A ,2016-10-12

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