膜厚测定装置及膜厚测定方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201080038809.3
申请日
2010-07-27
公开(公告)号
CN102483320A
公开(公告)日
2012-05-30
发明(设计)人
大塚贤一 中野哲寿 渡边元之
申请人
申请人地址
日本静冈县
IPC主分类号
G01B1106
IPC分类号
代理机构
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人
杨琦
法律状态
公开
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
膜厚测定装置、膜厚测定系统及膜厚测定方法 [P]. 
青木诚志 .
日本专利 :CN120721008A ,2025-09-30
[2]
膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P]. 
土屋邦彦 ;
荒野谕 ;
大塚贤一 .
日本专利 :CN117355724A ,2024-01-05
[3]
膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P]. 
黑川政秋 ;
安井润 ;
见持圭一 ;
盐谷成敏 .
中国专利 :CN103765156B ,2014-04-30
[4]
膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P]. 
大冢贤一 ;
森岛康太 ;
土屋邦彦 .
日本专利 :CN120604098A ,2025-09-05
[5]
膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P]. 
中村共则 ;
大塚贤一 ;
荒野谕 ;
土屋邦彦 .
中国专利 :CN115104000A ,2022-09-23
[6]
膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P]. 
大冢贤一 ;
森岛康太 ;
土屋邦彦 ;
高桥辉雄 .
日本专利 :CN120500609A ,2025-08-15
[7]
膜厚测定方法 [P]. 
永冈达司 ;
西中浩之 ;
吉本昌广 .
中国专利 :CN111947582A ,2020-11-17
[8]
膜厚测定装置以及膜厚测定方法 [P]. 
山田健夫 ;
山本猛 ;
山仓崇宽 ;
林真治 ;
河合慎吾 .
中国专利 :CN101981406A ,2011-02-23
[9]
膜厚测定装置和膜厚测定方法 [P]. 
八寻俊一 ;
尾上幸太朗 ;
田中茂喜 .
中国专利 :CN106017337A ,2016-10-12
[10]
膜厚测定方法和膜厚测定装置 [P]. 
三浦真德 ;
高柳顺 .
中国专利 :CN108627105A ,2018-10-09