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膜厚测定装置及膜厚测定方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201080038809.3
申请日
:
2010-07-27
公开(公告)号
:
CN102483320A
公开(公告)日
:
2012-05-30
发明(设计)人
:
大塚贤一
中野哲寿
渡边元之
申请人
:
申请人地址
:
日本静冈县
IPC主分类号
:
G01B1106
IPC分类号
:
代理机构
:
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人
:
杨琦
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2012-05-30
公开
公开
2014-04-02
授权
授权
2012-07-11
实质审查的生效
实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101294515086 IPC(主分类):G01B 11/06 专利申请号:2010800388093 申请日:20100727
共 50 条
[1]
膜厚测定装置、膜厚测定系统及膜厚测定方法
[P].
青木诚志
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
本田技研工业株式会社
本田技研工业株式会社
青木诚志
.
日本专利
:CN120721008A
,2025-09-30
[2]
膜厚测定装置及膜厚测定方法
[P].
土屋邦彦
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
浜松光子学株式会社
浜松光子学株式会社
土屋邦彦
;
荒野谕
论文数:
0
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0
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0
机构:
浜松光子学株式会社
浜松光子学株式会社
荒野谕
;
大塚贤一
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
浜松光子学株式会社
浜松光子学株式会社
大塚贤一
.
日本专利
:CN117355724A
,2024-01-05
[3]
膜厚测定装置及膜厚测定方法
[P].
黑川政秋
论文数:
0
引用数:
0
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0
黑川政秋
;
安井润
论文数:
0
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安井润
;
见持圭一
论文数:
0
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0
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0
见持圭一
;
盐谷成敏
论文数:
0
引用数:
0
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0
盐谷成敏
.
中国专利
:CN103765156B
,2014-04-30
[4]
膜厚测定装置及膜厚测定方法
[P].
大冢贤一
论文数:
0
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0
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0
机构:
浜松光子学株式会社
浜松光子学株式会社
大冢贤一
;
森岛康太
论文数:
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0
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0
机构:
浜松光子学株式会社
浜松光子学株式会社
森岛康太
;
土屋邦彦
论文数:
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引用数:
0
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0
机构:
浜松光子学株式会社
浜松光子学株式会社
土屋邦彦
.
日本专利
:CN120604098A
,2025-09-05
[5]
膜厚测定装置及膜厚测定方法
[P].
中村共则
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中村共则
;
大塚贤一
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大塚贤一
;
荒野谕
论文数:
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荒野谕
;
土屋邦彦
论文数:
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0
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0
土屋邦彦
.
中国专利
:CN115104000A
,2022-09-23
[6]
膜厚测定装置及膜厚测定方法
[P].
大冢贤一
论文数:
0
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0
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0
机构:
浜松光子学株式会社
浜松光子学株式会社
大冢贤一
;
森岛康太
论文数:
0
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机构:
浜松光子学株式会社
浜松光子学株式会社
森岛康太
;
土屋邦彦
论文数:
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0
机构:
浜松光子学株式会社
浜松光子学株式会社
土屋邦彦
;
高桥辉雄
论文数:
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0
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机构:
浜松光子学株式会社
浜松光子学株式会社
高桥辉雄
.
日本专利
:CN120500609A
,2025-08-15
[7]
膜厚测定方法
[P].
永冈达司
论文数:
0
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0
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0
永冈达司
;
西中浩之
论文数:
0
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0
西中浩之
;
吉本昌广
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0
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0
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0
吉本昌广
.
中国专利
:CN111947582A
,2020-11-17
[8]
膜厚测定装置以及膜厚测定方法
[P].
山田健夫
论文数:
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0
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0
山田健夫
;
山本猛
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0
山本猛
;
山仓崇宽
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山仓崇宽
;
林真治
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0
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林真治
;
河合慎吾
论文数:
0
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0
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0
河合慎吾
.
中国专利
:CN101981406A
,2011-02-23
[9]
膜厚测定装置和膜厚测定方法
[P].
八寻俊一
论文数:
0
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八寻俊一
;
尾上幸太朗
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0
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尾上幸太朗
;
田中茂喜
论文数:
0
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0
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0
田中茂喜
.
中国专利
:CN106017337A
,2016-10-12
[10]
膜厚测定方法和膜厚测定装置
[P].
三浦真德
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0
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0
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三浦真德
;
高柳顺
论文数:
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高柳顺
.
中国专利
:CN108627105A
,2018-10-09
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