膜厚测定方法和膜厚测定装置

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专利类型
发明
申请号
CN201810236094.0
申请日
2018-03-21
公开(公告)号
CN108627105A
公开(公告)日
2018-10-09
发明(设计)人
三浦真德 高柳顺
申请人
申请人地址
日本爱知县
IPC主分类号
G01B1106
IPC分类号
代理机构
北京市中咨律师事务所 11247
代理人
张轶楠;段承恩
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
膜厚测定装置和膜厚测定方法 [P]. 
山田健夫 ;
山本猛 ;
河合慎吾 .
中国专利 :CN103459976A ,2013-12-18
[2]
膜厚测定装置和膜厚测定方法 [P]. 
八寻俊一 ;
尾上幸太朗 ;
田中茂喜 .
中国专利 :CN106017337A ,2016-10-12
[3]
膜厚测定装置和膜厚测定方法 [P]. 
岩永修儿 ;
西山直 ;
加藤宽三 .
中国专利 :CN105097587B ,2015-11-25
[4]
膜厚测定装置以及膜厚测定方法 [P]. 
山田健夫 ;
山本猛 ;
山仓崇宽 ;
林真治 ;
河合慎吾 .
中国专利 :CN101981406A ,2011-02-23
[5]
膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P]. 
土屋邦彦 ;
荒野谕 ;
大塚贤一 .
日本专利 :CN117355724A ,2024-01-05
[6]
膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P]. 
黑川政秋 ;
安井润 ;
见持圭一 ;
盐谷成敏 .
中国专利 :CN103765156B ,2014-04-30
[7]
膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P]. 
大冢贤一 ;
森岛康太 ;
土屋邦彦 .
日本专利 :CN120604098A ,2025-09-05
[8]
膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P]. 
大冢贤一 ;
森岛康太 ;
土屋邦彦 ;
高桥辉雄 .
日本专利 :CN120500609A ,2025-08-15
[9]
膜厚测定装置、膜厚测定系统及膜厚测定方法 [P]. 
青木诚志 .
日本专利 :CN120721008A ,2025-09-30
[10]
膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P]. 
大塚贤一 ;
中野哲寿 ;
渡边元之 .
中国专利 :CN102483320A ,2012-05-30