膜厚测定装置及膜厚测定方法

被引：0

申请号：

CN202180013891.2

申请日：

2021-02-09

公开(公告)号：

CN115104000A

公开(公告)日：

2022-09-23

发明(设计)人：

中村共则大塚贤一荒野谕土屋邦彦

申请人：

申请人地址：

日本静冈县

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

G01J336 G01J900

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

杨琦

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-23	公开	公开

共 50 条

[1]

膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P].

大冢贤一 ;

森岛康太 ;

土屋邦彦 ;

高桥辉雄 .

日本专利 :CN120500609A ,2025-08-15

[2]

膜厚测定装置、膜厚测定系统及膜厚测定方法 [P].

青木诚志 .

日本专利 :CN120721008A ,2025-09-30

[3]

膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P].

大塚贤一 ;

中野哲寿 ;

渡边元之 .

中国专利 :CN102483320A ,2012-05-30

[4]

膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P].

土屋邦彦 ;

荒野谕 ;

大塚贤一 .

日本专利 :CN117355724A ,2024-01-05

[5]

膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P].

黑川政秋 ;

安井润 ;

见持圭一 ;

盐谷成敏 .

中国专利 :CN103765156B ,2014-04-30

[6]

膜厚测定装置及膜厚测定方法 [P].

大冢贤一 ;

森岛康太 ;

土屋邦彦 .

日本专利 :CN120604098A ,2025-09-05

[7]

膜厚测定装置、膜厚测定方法及具有膜厚测定装置的研磨装置 [P].

野村季和 ;

饭泉健 ;

渡边和英 ;

小林洋一 .

中国专利 :CN104275640A ,2015-01-14

[8]

膜厚测定装置、膜厚测定方法及基板研磨装置 [P].

木下将毅 ;

八木圭太 ;

高桥太郎 ;

盐川阳一 ;

渡边夕贵 .

日本专利 :CN118809424A ,2024-10-22

[9]

膜厚测定装置以及膜厚测定方法 [P].

山田健夫 ;

山本猛 ;

山仓崇宽 ;

林真治 ;

河合慎吾 .

中国专利 :CN101981406A ,2011-02-23

[10]

膜厚测定装置和膜厚测定方法 [P].

八寻俊一 ;

尾上幸太朗 ;

田中茂喜 .

中国专利 :CN106017337A ,2016-10-12

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