用于产生等离子体的天线和包括其的等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410010475.5

申请日：

2004-10-28

公开(公告)号：

CN1638599A

公开(公告)日：

2005-07-13

发明(设计)人：

金佑奭蔡胜基甘度英李光铭元济亨申在光吴在俊全尚珍

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

H01Q136 H01L213065

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

魏晓刚;李晓舒

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-07-09	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2005-07-13	公开	公开
2006-10-25	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

等离子体天线及包括其的等离子体处理装置 [P].

金亨源 ;

李允诚 ;

郑熙锡 .

中国专利 :CN111491433A ,2020-08-04

[2]

等离子体处理装置和等离子体产生用天线 [P].

池田太郎 ;

小松智仁 ;

河西繁 .

中国专利 :CN102737944A ,2012-10-17

[3]

等离子体处理装置和等离子体产生装置 [P].

加藤寿 ;

三浦繁博 .

中国专利 :CN103805968A ,2014-05-21

[4]

天线、用于产生等离子体的电路，以及等离子体处理装置 [P].

李东协 ;

成德镛 ;

禹济宪 ;

金俸奭 ;

李柱昊 ;

全允珖 ;

赵贞贤 .

中国专利 :CN107979909A ,2018-05-01

[5]

天线、包括天线的微波等离子体源、和等离子体处理装置 [P].

李永光 ;

朴龙均 ;

李东洙 ;

李尚宪 .

中国专利 :CN107454732B ,2017-12-08

[6]

天线、等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

阿部纯一 ;

中尾博人 .

中国专利 :CN110534393A ,2019-12-03

[7]

等离子体处理装置及等离子体天线 [P].

禹相浩 ;

梁日光 ;

宋炳奎 .

中国专利 :CN102204416A ,2011-09-28

[8]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

矢幡将二郎 ;

佐藤徹治 .

中国专利 :CN113345787A ,2021-09-03

[9]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

矢幡将二郎 ;

佐藤徹治 .

日本专利 :CN113345787B ,2025-07-25

[10]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

中村纮一郎 ;

清藤规久 .

日本专利 :CN118613899A ,2024-09-06

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