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原子层沉积薄膜的针孔缺陷的检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010349287.4
申请日：
2020-04-28
公开(公告)号：
CN111524824A
公开(公告)日：
2020-08-11
发明(设计)人：
陈勇跃
申请人：
申请人地址：
201315 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区康桥东路298号1幢1060室
IPC主分类号：
H01L2166
IPC分类号：
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
郭四华
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-09-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20200428 |
| 2020-08-11 | 公开 | 公开 |