对镜结构进行化学机械抛光的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410018564.4

申请日：

2004-05-18

公开(公告)号：

CN100534712C

公开(公告)日：

2005-11-23

发明(设计)人：

俞昌杨春晓任自如黄河

申请人：

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

B24B100

IPC分类号：

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

代理人：

陈红

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-01-04	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101259914235 IPC(主分类):B24B 1/00 专利号:ZL2004100185644 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更事项:共同专利权人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20111129
2007-07-18	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-09-02	授权	授权
2005-11-23	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于镜结构的化学机械抛光方法 [P].

俞昌 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN100427266C ,2005-12-07

[2]

化学机械抛光方法 [P].

朱宏亮 ;

王爱兵 .

中国专利 :CN105513961A ,2016-04-20

[3]

化学机械抛光的方法 [P].

蒋莉 .

中国专利 :CN104723208A ,2015-06-24

[4]

利用化学机械抛光设备进行化学机械抛光的方法 [P].

路新春 ;

沈攀 .

中国专利 :CN102240927A ,2011-11-16

[5]

化学机械抛光的方法 [P].

蒋莉 ;

程继 ;

熊世伟 .

中国专利 :CN104716035A ,2015-06-17

[6]

对基材进行化学机械抛光的方法 [P].

M·K·詹森 ;

B·钱 ;

叶逢蓟 ;

M·迪格鲁特 ;

M·T·伊斯兰 ;

M·R·范哈内亨 ;

D·斯特林 ;

J·穆奈恩 ;

J·J·亨道恩 ;

J·G·诺兰 .

中国专利 :CN104416453A ,2015-03-18

[7]

化学机械抛光垫以及化学机械抛光方法 [P].

志保浩司 ;

保坂幸生 ;

长谷川亨 ;

川桥信夫 .

中国专利 :CN100352605C ,2005-03-09

[8]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120134207B ,2025-08-19

[9]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120862551A ,2025-10-31

[10]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120134207A ,2025-06-13

← 1 2 3 4 5 →