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蚀刻含金属或半金属的材料的方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201880024478.4
申请日：
2018-04-09
公开(公告)号：
CN110494594A
公开(公告)日：
2019-11-22
发明(设计)人：
T·阿德尔曼 F·阿贝尔斯 S·祖德 H·威尔默
申请人：
申请人地址：
德国莱茵河畔路德维希港
IPC主分类号：
C23F112
IPC分类号：
H01L213213
代理机构：
北京市中咨律师事务所 11247
代理人：
张双双;刘金辉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2019-11-22 公开 公开
2020-09-29 发明专利申请公布后的视为撤回 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23F 1/12 申请公布日:20191122
共 50 条
[1]
产生含金属或含半金属的膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
A·G·赫夫纳格尔 ;
H·威尔默 ;
D·罗夫勒 ;
S·魏戈尼 ;
K·希尔勒-阿恩特 ;
C·H·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 .
中国专利 :CN114729449A ,2022-07-08
[2]
产生含金属或含半金属的膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
A·G·赫夫纳格尔 ;
H·威尔默 ;
D·罗夫勒 ;
S·魏戈尼 ;
K·希尔勒-阿恩特 ;
C·H·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 .
德国专利 :CN114729449B ,2025-06-17
[3]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·V·克伦克 ;
D·舍施克维茨 ;
K·I·莱什琴斯卡 .
中国专利 :CN112384639A ,2021-02-19
[4]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 .
德国专利 :CN113939609B ,2025-03-04
[5]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 ;
T·卡鲁纳拉特 .
中国专利 :CN113906158A ,2022-01-07
[6]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 .
中国专利 :CN113939609A ,2022-01-14
[7]
生成含金属或半金属膜的方法 [P]. 
S·V·克伦克 ;
D·D·施魏因富特 ;
L·迈尔 ;
S·魏戈尼 ;
C·温特 ;
N·韦拉滕加西里卡图格 ;
T·卡鲁纳拉特 .
德国专利 :CN113906158B ,2025-01-10
[8]
产生包含金属或半金属的膜的方法 [P]. 
D·D·施魏因富特 ;
S·魏戈尼 ;
L·迈尔 ;
S·V·克伦克 .
中国专利 :CN112204168A ,2021-01-08
[9]
含金属和/或半金属的硫化物的制造方法、含钠的硫化物 [P]. 
作田敦 ;
奈须滉 ;
辰巳砂昌弘 ;
林晃敏 .
日本专利 :CN118302380A ,2024-07-05
[10]
金属碳氮化膜或半金属碳氮化膜的制造方法、金属碳氮化膜或半金属碳氮化膜以及金属碳氮化膜或半金属碳氮化膜的制造装置 [P]. 
白井昌志 ;
二瓶央 .
中国专利 :CN107109642A ,2017-08-29
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