CVD反应器的排气装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180047800.3

申请日：

2011-08-02

公开(公告)号：

CN103140602A

公开(公告)日：

2013-06-05

发明(设计)人：

亚历山大·I·居拉瑞

申请人：

申请人地址：

美国纽约

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

代理机构：

珠海智专专利商标代理有限公司 44262

代理人：

段淑华;刘曾剑

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-01	授权	授权
2013-06-05	公开	公开
2013-07-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101486722267 IPC(主分类):C23C 16/44 专利申请号:2011800478003 申请日:20110802

共 50 条

[1]

CVD反应器的排气机构 [P].

M.科尔伯格 ;

M.穆基诺维奇 ;

T.W.巴斯特克 ;

F.鲁达耶维特 .

德国专利 :CN114555858B ,2024-11-01

[2]

CVD反应器的排气机构 [P].

M.科尔伯格 ;

M.穆基诺维奇 ;

T.W.巴斯特克 ;

F.鲁达耶维特 .

中国专利 :CN114555858A ,2022-05-27

[3]

CVD反应器和用于CVD反应器的基板支架 [P].

A.博伊德 ;

D.克莱森斯 ;

H.希尔瓦 .

中国专利 :CN104053816A ,2014-09-17

[4]

CVD反应器和清洁CVD反应器的方法 [P].

M.科尔伯格 ;

W.J.T.克鲁克肯 ;

F.鲁达伊威特 ;

M.德费尔 ;

M.普菲斯特雷尔 .

中国专利 :CN109844174B ,2019-06-04

[5]

一种生物反应器的排气装置 [P].

潘杰 ;

李晓明 ;

王鹏志 ;

孙宝华 ;

李广威 ;

李敏 ;

马玉峰 ;

刘俊斌 ;

徐萍 ;

傅明明 ;

刘广进 .

中国专利 :CN210261774U ,2020-04-07

[6]

用于CVD反应器的进气装置 [P].

M.艾克尔坎普 .

德国专利 :CN114787416B ,2024-07-09

[7]

用于CVD反应器的进气装置 [P].

M.艾克尔坎普 .

中国专利 :CN114787416A ,2022-07-22

[8]

化学气相沉积（CVD）反应器 [P].

J·温特 .

澳大利亚专利 :CN121002217A ,2025-11-21

[9]

CVD反应器的基座 [P].

W.J.T.克鲁肯 ;

P.S.劳弗 .

德国专利 :CN113383110B ,2024-05-14

[10]

CVD反应器的基座 [P].

W.J.T.克鲁肯 ;

P.S.劳弗 .

中国专利 :CN113383110A ,2021-09-10

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