一种等离子处理装置，处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810674391.3

申请日：

2018-06-27

公开(公告)号：

CN108831817A

公开(公告)日：

2018-11-16

发明(设计)人：

不公告发明人

申请人：

申请人地址：

226300 江苏省南通市高新区世纪大道266号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20180627
2018-11-16	公开	公开
2020-08-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J 37/32 申请公布日:20181116

共 50 条

[1]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

佐藤阳介 ;

宇井明生 ;

林久贵 .

中国专利 :CN105280489A ,2016-01-27

[2]

等离子处理装置和等离子处理方法 [P].

小口元树 ;

森崎昭生 ;

花田幸纪 .

中国专利 :CN101853763A ,2010-10-06

[3]

等离子处理装置和等离子处理方法 [P].

小野寺直见 ;

乡右近清彦 ;

佐藤润 .

中国专利 :CN101877304B ,2010-11-03

[4]

等离子处理装置和等离子处理方法 [P].

山泽阳平 ;

奥西直彦 ;

三泽裕文 ;

添田秀史 .

中国专利 :CN101853766A ,2010-10-06

[5]

等离子处理方法以及等离子处理装置 [P].

田中庆一 .

中国专利 :CN110277296A ,2019-09-24

[6]

等离子处理装置以及等离子处理方法 [P].

田代骏介 ;

植村崇 ;

于盛楠 ;

园田靖 ;

佐藤清彦 ;

长谷征洋 .

中国专利 :CN113767453A ,2021-12-07

[7]

等离子处理装置 [P].

福岛讲平 ;

高桥俊树 ;

松浦广行 ;

本山丰 ;

山本和弥 .

中国专利 :CN103354202B ,2013-10-16

[8]

等离子处理装置 [P].

赵芝强 .

中国专利 :CN103107059A ,2013-05-15

[9]

等离子处理装置 [P].

福岛讲平 ;

高桥俊树 ;

松浦广行 ;

本山丰 ;

山本和弥 .

中国专利 :CN101819918A ,2010-09-01

[10]

等离子处理装置 [P].

赵芝强 .

中国专利 :CN203179834U ,2013-09-04

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