用于制备砷化镓衬底的方法、砷化镓衬底及其用途

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480004737.9

申请日：

2014-02-12

公开(公告)号：

CN104969328A

公开(公告)日：

2015-10-07

发明(设计)人：

W·弗利格尔 C·克莱门特 C·维劳尔 M·舍费尔奇甘 A·克莱茵韦希特 S·艾希勒 B·韦纳特 M·梅德尔

申请人：

申请人地址：

德国弗赖贝格

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

G01N2121

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

邹智弘

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101650102312 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2014800047379 申请日:20140212
2015-10-07	公开	公开
2020-07-10	授权	授权

共 50 条

[1]

用于制备砷化镓衬底的方法、砷化镓衬底及其用途 [P].

W·弗利格尔 ;

C·克莱门特 ;

C·维劳尔 ;

M·舍费尔奇甘 ;

A·克莱茵韦希特 ;

S·艾希勒 ;

B·韦纳特 ;

M·梅德尔 .

中国专利 :CN109801836A ,2019-05-24

[2]

用于制备砷化镓衬底的方法、砷化镓衬底及其用途 [P].

W·弗利格尔 ;

C·克莱门特 ;

C·维劳尔 ;

M·舍费尔奇甘 ;

A·克莱茵韦希特 ;

S·艾希勒 ;

B·韦纳特 ;

M·梅德尔 .

中国专利 :CN115101401A ,2022-09-23

[3]

用于制备砷化镓衬底的方法、砷化镓衬底及其用途 [P].

W·弗利格尔 ;

C·克莱门特 ;

C·维劳尔 ;

M·舍费尔奇甘 ;

A·克莱茵韦希特 ;

S·艾希勒 ;

B·韦纳特 ;

M·梅德尔 .

中国专利 :CN107634000B ,2018-01-26

[4]

砷化镓衬底材料制备方法 [P].

易德福 ;

守建川 .

中国专利 :CN106206841A ,2016-12-07

[5]

砷化镓单晶衬底和砷化镓单晶衬底的制造方法 [P].

上松康二 ;

佐藤一成 ;

中西文毅 .

日本专利 :CN115087767B ,2024-02-20

[6]

砷化镓单晶衬底和砷化镓单晶衬底的制造方法 [P].

上松康二 ;

佐藤一成 ;

中西文毅 .

中国专利 :CN115087767A ,2022-09-20

[7]

砷化镓单晶衬底及制造砷化镓单晶的方法 [P].

羽木良明 ;

中井龙资 .

中国专利 :CN101451265A ,2009-06-10

[8]

砷化镓、磷化镓衬底干处理方法 [P].

廖常俊 ;

刘颂豪 .

中国专利 :CN1217296A ,1999-05-26

[9]

砷化镓单晶衬底及其制造方法 [P].

三桥史典 ;

足立真宽 ;

斋藤吉广 ;

中山阳次郎 .

日本专利 :CN120883325A ,2025-10-31

[10]

砷化镓单晶衬底及其制造方法 [P].

三桥史典 ;

足立真宽 ;

斋藤吉广 ;

中山阳次郎 .

日本专利 :CN120677555A ,2025-09-19

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