一种带超声清洗槽的硅片切割装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120967172.1

申请日：

2021-05-08

公开(公告)号：

CN215282762U

公开(公告)日：

2021-12-24

发明(设计)人：

张强金善明缪海波陈益冬

申请人：

申请人地址：

215253 江苏省苏州市苏州高新区五台山路169号

IPC主分类号：

B28D504

IPC分类号：

B08B312

代理机构：

南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204

代理人：

柏尚春

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种电池超声清洗槽 [P].

吴进波 ;

吴昱铮 .

中国专利 :CN206262921U ,2017-06-20

[2]

一种硅片超声波清洗槽的硅片夹持装置 [P].

支秉旭 .

中国专利 :CN205949436U ,2017-02-15

[3]

一种简易硅片超声波清洗槽 [P].

季丽 .

中国专利 :CN205628775U ,2016-10-12

[4]

带超声清洗槽的茶几 [P].

吴滨 .

中国专利 :CN205214651U ,2016-05-11

[5]

一种硅片清洗槽 [P].

刘彬国 ;

何京辉 ;

李立伟 ;

张立涛 ;

张稳 .

中国专利 :CN204289404U ,2015-04-22

[6]

一种清洗槽式的超声清洗枪 [P].

白立新 ;

邓京军 ;

李超 ;

徐德龙 .

中国专利 :CN203408925U ,2014-01-29

[7]

一种带沉淀槽的超声波清洗槽 [P].

叶乔 .

中国专利 :CN205085076U ,2016-03-16

[8]

一种带加热功能的高效硅片超声波清洗槽 [P].

支秉旭 .

中国专利 :CN205926461U ,2017-02-08

[9]

一种高效硅片超声波清洗槽 [P].

支秉旭 .

中国专利 :CN205949400U ,2017-02-15

[10]

一种硅片的清洗槽 [P].

刘爱军 ;

曹丙强 ;

庄艳歆 ;

周浪 .

中国专利 :CN211071105U ,2020-07-24

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