一种LED的GaN外延片表面粗化工艺

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专利类型
发明
申请号
CN201410168481.7
申请日
2014-04-24
公开(公告)号
CN103996754A
公开(公告)日
2014-08-20
发明(设计)人
章晓霞
申请人
申请人地址
322000 浙江省义乌市稠江路2巷7号301
IPC主分类号
H01L3300
IPC分类号
H01L3322
代理机构
代理人
法律状态
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国省代码
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共 50 条
[1]
一种LED外延片表面粗化工艺 [P]. 
章晓霞 .
中国专利 :CN103996771B ,2014-08-20
[2]
一种LED表面粗化工艺 [P]. 
章晓霞 .
中国专利 :CN103996770B ,2014-08-20
[3]
GaN-LED外延片表面粗化方法、外延片及LED [P]. 
周志兵 ;
张星星 ;
林潇雄 ;
胡加辉 ;
金从龙 .
中国专利 :CN115799409B ,2025-10-31
[4]
一种LED芯片表面粗化工艺 [P]. 
高诗原 ;
陈明哲 ;
高强 ;
郑小菲 .
中国专利 :CN118610328A ,2024-09-06
[5]
一种LED芯片表面粗化工艺 [P]. 
高诗原 ;
陈明哲 ;
高强 ;
郑小菲 .
中国专利 :CN118610328B ,2025-02-18
[6]
一种GaN基LED外延片表面粗化方法 [P]. 
曲爽 ;
邵慧慧 ;
王成新 ;
李树强 ;
徐现刚 .
中国专利 :CN102130223B ,2011-07-20
[7]
一种湿法化学腐蚀LED表面粗化工艺 [P]. 
张志强 .
中国专利 :CN102185040A ,2011-09-14
[8]
一种改善GaN外延片性质并增强GaN基LED发光性能的方法 [P]. 
张勇 .
中国专利 :CN108054247A ,2018-05-18
[9]
一种GaN基LED蓝绿光外延片表面粗化的生长方法 [P]. 
李毓锋 ;
马旺 ;
刘永明 ;
王成新 ;
肖成峰 .
中国专利 :CN111490133B ,2020-08-04
[10]
一种GaN基外延层表面粗化的LED芯片制作方法 [P]. 
徐海龙 .
中国专利 :CN103824914B ,2014-05-28