一种硅片的抛光后清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010258268.0

申请日：

2020-04-03

公开(公告)号：

CN113496868A

公开(公告)日：

2021-10-12

发明(设计)人：

张俊宝陈猛

申请人：

申请人地址：

400714 重庆市北碚区两江新区云汉大道5号附188

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20200403
2021-10-12	公开	公开

共 50 条

[1]

一种硅片的抛光方法 [P].

沈思情 ;

山田宪治 ;

刘浦锋 ;

宋洪伟 ;

陈猛 .

中国专利 :CN105252406A ,2016-01-20

[2]

一种金刚线切割后的硅片清洗方法 [P].

刘宝华 ;

任崇荣 ;

谷燕铂 ;

李东东 ;

王立明 ;

任欢欢 ;

梁玲 ;

赵强 ;

王莹 .

中国专利 :CN107240546B ,2017-10-10

[3]

一种对化学机械抛光后硅片的清洗方法 [P].

王晨 ;

何华锋 .

中国专利 :CN102820210A ,2012-12-12

[4]

一种硅片的清洗方法 [P].

侯玥玥 ;

黄纪德 ;

金井升 ;

张昕宇 ;

金浩 .

中国专利 :CN108039315A ,2018-05-15

[5]

一种用于硅片清洗抛光的混酸清洗液及抛光硅片清洗方法 [P].

杉原一男 ;

贺贤汉 ;

李飞 ;

赵剑锋 ;

洪漪 .

中国专利 :CN113736580A ,2021-12-03

[6]

一种大尺寸硅片最终抛光后清洗工艺 [P].

张琪 ;

王莎 ;

王壹帆 ;

王凯 ;

周霖 ;

潘凤利 ;

李博 ;

冯帆 ;

段一菲 ;

胡晓丹 .

中国专利 :CN119673752A ,2025-03-21

[7]

一种太阳能硅片清洗剂 [P].

支田田 ;

周君 ;

杨长剑 .

中国专利 :CN103484261B ,2014-01-01

[8]

一种改善腐蚀后药液残留的硅片清洗方法 [P].

王建华 ;

贺贤汉 ;

王全喜 ;

胡兴平 .

中国专利 :CN110813881A ,2020-02-21

[9]

一种硅片清洗装置及硅片清洗方法 [P].

李昀泽 .

中国专利 :CN110323164A ,2019-10-11

[10]

一种硅片的清洗方法 [P].

于昊 ;

宫勇 ;

兰育辉 .

中国专利 :CN102114481B ,2011-07-06

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