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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-12-19 | 授权 | 授权 |
| 2023-01-31 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 27/12 申请日:20090219 授权公告日:20121219 终止日期:20220219 |
| 2011-03-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101057487705 IPC(主分类):H01L 27/12 专利申请号:2009100080359 申请日:20090219 |
| 2009-09-02 | 公开 | 公开 |