一种离子注入能量监控方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710564681.8

申请日：

2017-07-12

公开(公告)号：

CN107195566A

公开(公告)日：

2017-09-22

发明(设计)人：

田巍岐

申请人：

申请人地址：

135299 吉林省白山市靖宇县靖宇镇新村委一组

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

G01R2702

代理机构：

深圳市兰锋知识产权代理事务所(普通合伙) 44419

代理人：

曹明兰

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-09-22	公开	公开
2019-11-05	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 21/66 登记生效日:20191015 变更事项:申请人变更前权利人:田巍岐变更后权利人:张学利变更事项:地址变更前权利人:135299 吉林省白山市靖宇县靖宇镇新村委一组变更后权利人:317000 浙江省台州市临海市邵家渡街道船至村117号
2022-06-24	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20170712 授权公告日:20191108 终止日期:20210712
2019-11-08	授权	授权
2017-10-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20170712
2021-01-05	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/66 登记生效日:20201223 变更事项:专利权人变更前权利人:张学利变更后权利人:浙江长兴中俄新能源材料技术研究院有限公司变更事项:地址变更前权利人:317000 浙江省台州市临海市邵家渡街道船至村117号变更后权利人:313000 浙江省湖州市长兴县画溪工业功能区城南路28号-6

共 50 条

[1]

一种离子注入角度的监控方法 [P].

袁永 .

中国专利 :CN107195565A ,2017-09-22

[2]

监控离子注入能量的方法和系统 [P].

蒋邦邦 ;

胡慕 .

中国专利 :CN119170513A ,2024-12-20

[3]

离子注入工艺的监控方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN108109933B ,2018-06-01

[4]

离子注入的监控方法 [P].

田慧 .

中国专利 :CN104091767B ,2014-10-08

[5]

离子注入转角监控方法及离子注入机 [P].

李稳迪 ;

张立 ;

谢威 .

中国专利 :CN110416044B ,2019-11-05

[6]

离子注入机的工艺能力的监控方法和离子注入方法 [P].

国子明 ;

王毅 ;

郭国超 ;

姚雷 ;

郝志 .

中国专利 :CN103839858B ,2014-06-04

[7]

离子注入方法和离子注入装置 [P].

浅井博文 ;

桥野义和 .

中国专利 :CN102629543A ,2012-08-08

[8]

离子注入方法及离子注入装置 [P].

川崎洋司 ;

佐野信 ;

塚原一孝 .

中国专利 :CN106920741A ,2017-07-04

[9]

离子注入装置以及离子注入方法 [P].

平井裕也 ;

赵维江 ;

大村俊辅 ;

中西昭仁 ;

佐藤琢己 .

日本专利 :CN119069327A ,2024-12-03

[10]

离子注入能量漂移的监测方法 [P].

李嵘 ;

高伟 ;

刘智远 ;

商家浩 .

中国专利 :CN120149139A ,2025-06-13

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