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等离子体分光分析方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201810716205.8
申请日
:
2018-07-03
公开(公告)号
:
CN109211877B
公开(公告)日
:
2019-01-15
发明(设计)人
:
桐山健太郎
申请人
:
申请人地址
:
日本京都府
IPC主分类号
:
G01N2166
IPC分类号
:
G01N2167
代理机构
:
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人
:
黄纶伟;金玲
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-04-07
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/66 申请日:20180703
2022-09-06
授权
授权
2019-01-15
公开
公开
共 50 条
[1]
等离子体分光分析方法
[P].
本间紘次郎
论文数:
0
引用数:
0
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0
本间紘次郎
;
桐山健太郎
论文数:
0
引用数:
0
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0
桐山健太郎
;
山田泰史
论文数:
0
引用数:
0
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0
山田泰史
.
中国专利
:CN109211878B
,2019-01-15
[2]
等离子体分光分析方法及等离子体分光分析装置
[P].
高须刚
论文数:
0
引用数:
0
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0
高须刚
.
中国专利
:CN107643279A
,2018-01-30
[3]
等离子体分光分析方法和等离子体分光分析装置
[P].
白木裕章
论文数:
0
引用数:
0
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0
白木裕章
;
冈井均
论文数:
0
引用数:
0
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0
冈井均
.
中国专利
:CN105784675A
,2016-07-20
[4]
等离子体分光分析装置用样本容器
[P].
笠井督夫
论文数:
0
引用数:
0
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0
笠井督夫
.
中国专利
:CN304941595S
,2018-12-11
[5]
等离子体分析装置、等离子体分析方法以及衬底处理设备
[P].
曺贤哲
论文数:
0
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0
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0
机构:
细美事有限公司
细美事有限公司
曺贤哲
;
林佲俊
论文数:
0
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0
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0
机构:
细美事有限公司
细美事有限公司
林佲俊
;
金光燮
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
细美事有限公司
细美事有限公司
金光燮
.
韩国专利
:CN120594508A
,2025-09-05
[6]
感应耦合等离子体分析系统以及感应耦合等离子体分析方法
[P].
寺本庆之
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
国立研究开发法人产业技术综合研究所
国立研究开发法人产业技术综合研究所
寺本庆之
;
胁坂昭弘
论文数:
0
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0
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0
机构:
国立研究开发法人产业技术综合研究所
国立研究开发法人产业技术综合研究所
胁坂昭弘
.
日本专利
:CN112930477B
,2024-07-19
[7]
感应耦合等离子体分析系统以及感应耦合等离子体分析方法
[P].
寺本庆之
论文数:
0
引用数:
0
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0
寺本庆之
;
胁坂昭弘
论文数:
0
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0
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0
胁坂昭弘
.
中国专利
:CN112930477A
,2021-06-08
[8]
等离子体蚀刻方法、等离子体蚀刻装置、等离子体处理方法及等离子体处理装置
[P].
森口尚树
论文数:
0
引用数:
0
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0
森口尚树
.
中国专利
:CN105103274A
,2015-11-25
[9]
等离子体分光分析方法和来自非靶材的等离子体发光的抑制剂
[P].
笠井督夫
论文数:
0
引用数:
0
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0
笠井督夫
.
中国专利
:CN107917906B
,2018-04-17
[10]
等离子体处理装置、等离子体处理方法
[P].
舆水地盐
论文数:
0
引用数:
0
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0
舆水地盐
.
中国专利
:CN101908460A
,2010-12-08
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