硅锭的抛光系统及抛光板

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201020159661.6

申请日：

2010-04-13

公开(公告)号：

CN201702666U

公开(公告)日：

2011-01-12

发明(设计)人：

王敬

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区清华大学南零楼3单元202室

IPC主分类号：

B24B2902

IPC分类号：

B24D1300

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

廖元秋

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-01-12	授权	授权
2015-05-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101611572174 IPC(主分类):B24B 29/02 专利号:ZL2010201596616 申请日:20100413 授权公告日:20110112 终止日期:20140413

共 50 条

[1]

硅锭的抛光方法、系统及抛光板 [P].

王敬 .

中国专利 :CN101817160A ,2010-09-01

[2]

抛光装置及抛光系统 [P].

饶桥兵 ;

聂小威 .

中国专利 :CN206912912U ,2018-01-23

[3]

抛光机及抛光系统 [P].

何康德 ;

姜汉坤 ;

胡小亮 ;

吕进 .

中国专利 :CN207593512U ,2018-07-10

[4]

抛光盘及抛光系统 [P].

侯晶 ;

许乔 ;

刘世伟 ;

陈贤华 ;

王健 ;

李洁 ;

钟波 .

中国专利 :CN211220041U ,2020-08-11

[5]

抛光盘及抛光系统 [P].

侯晶 ;

许乔 ;

刘世伟 ;

陈贤华 ;

王健 ;

李洁 ;

钟波 .

中国专利 :CN110788699B ,2024-09-20

[6]

抛光盘及抛光系统 [P].

侯晶 ;

许乔 ;

刘世伟 ;

陈贤华 ;

王健 ;

李洁 ;

钟波 .

中国专利 :CN110788699A ,2020-02-14

[7]

抛光系统及抛光方法 [P].

梁焰 ;

岳兴 ;

李安庭 .

中国专利 :CN112872916A ,2021-06-01

[8]

抛光系统的抛光垫 [P].

闵庚勳 ;

林云勳 ;

李大渊 ;

宋在翊 ;

朴寿讃 .

中国专利 :CN103079767A ,2013-05-01

[9]

抛光机及抛光系统 [P].

周超 .

中国专利 :CN216504146U ,2022-05-13

[10]

抛光机及抛光系统 [P].

何康德 ;

姜汉坤 ;

胡小亮 ;

吕进 .

中国专利 :CN107891348A ,2018-04-10

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