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一种粗精动一体的磁浮掩膜台系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201310390450.1
申请日：
2013-08-30
公开(公告)号：
CN103454864B
公开(公告)日：
2013-12-18
发明(设计)人：
朱煜 张鸣 刘召 杨开明 徐登峰 田丽 张利 秦慧超 叶伟楠 张金 穆海华 尹文生 胡金春 胡楚雄 赵彦坡 胡清平
申请人：
申请人地址：
100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
北京鸿元知识产权代理有限公司 11327
代理人：
邸更岩
法律状态：
著录事项变更
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2016-02-03 著录事项变更 著录事项变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101727561373 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013103904501 变更事项:申请人 变更前:清华大学 变更后:清华大学 变更事项:地址 变更前:100084 北京市海淀区北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室 变更后:100084 北京市海淀区北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室 变更事项:申请人 变更前:北京华卓精科科技有限公司 变更后:北京华卓精科科技股份有限公司
2014-01-15 实质审查的生效 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101562722612 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013103904501 申请日:20130830
2013-12-18 公开 公开
2016-02-03 授权 授权
共 50 条
[1]
一种具有六自由度粗动台的掩膜台系统 [P]. 
张鸣 ;
朱煜 ;
成荣 ;
刘召 ;
杨开明 ;
刘昊 ;
徐登峰 ;
田丽 ;
张利 ;
叶伟楠 ;
张金 ;
穆海华 ;
尹文生 ;
胡金春 .
中国专利 :CN103186058A ,2013-07-03
[2]
一种掩膜台系统 [P]. 
张鸣 ;
朱煜 ;
汪劲松 ;
闵伟 ;
尹文生 ;
胡金春 ;
徐登峰 ;
杨开明 ;
穆海华 ;
段广洪 .
中国专利 :CN102096338A ,2011-06-15
[3]
带平面衍射光栅测量的具有六自由度粗动台的掩膜台系统 [P]. 
张鸣 ;
朱煜 ;
成荣 ;
杨开明 ;
徐登峰 ;
刘召 ;
刘昊 ;
田丽 ;
张利 ;
叶伟楠 ;
张金 ;
穆海华 ;
尹文生 ;
胡金春 .
中国专利 :CN103105743A ,2013-05-15
[4]
一种具有双层绕组粗精驱动的磁浮平面电机工作台 [P]. 
曾理湛 ;
刘凯 ;
赵烁 ;
陈福祥 ;
胡傲奇 ;
张昊 ;
陈学东 .
中国专利 :CN114825854B ,2025-08-22
[5]
一种具有双层绕组粗精驱动的磁浮平面电机工作台 [P]. 
曾理湛 ;
刘凯 ;
赵烁 ;
陈福祥 ;
胡傲奇 ;
张昊 ;
陈学东 .
中国专利 :CN114825854A ,2022-07-29
[6]
一种平面电动机驱动的粗微动一体掩模台 [P]. 
朱煜 ;
张鸣 ;
支凡 ;
刘召 ;
成荣 ;
杨开明 ;
张利 ;
秦慧超 ;
赵彦坡 ;
田丽 ;
叶伟楠 ;
张金 ;
尹文生 ;
穆海华 ;
胡金春 .
中国专利 :CN203838476U ,2014-09-17
[7]
一种平面电动机驱动的粗微动一体掩模台 [P]. 
朱煜 ;
张鸣 ;
支凡 ;
刘召 ;
成荣 ;
杨开明 ;
张利 ;
秦慧超 ;
赵彦坡 ;
田丽 ;
叶伟楠 ;
张金 ;
尹文生 ;
穆海华 ;
胡金春 .
中国专利 :CN103926805A ,2014-07-16
[8]
一种平面电动机驱动的磁悬浮粗微动一体掩模台 [P]. 
张鸣 ;
朱煜 ;
支凡 ;
成荣 ;
杨开明 ;
刘召 ;
张利 ;
秦慧超 ;
赵彦坡 ;
田丽 ;
叶伟楠 ;
张金 ;
尹文生 ;
穆海华 ;
胡金春 .
中国专利 :CN104122759A ,2014-10-29
[9]
一种平面电动机驱动的磁悬浮粗微动一体掩模台 [P]. 
张鸣 ;
朱煜 ;
支凡 ;
成荣 ;
杨开明 ;
刘召 ;
张利 ;
秦慧超 ;
赵彦坡 ;
田丽 ;
叶伟楠 ;
张金 ;
尹文生 ;
穆海华 ;
胡金春 .
中国专利 :CN203838475U ,2014-09-17
[10]
带激光干涉仪测量的具有六自由度粗动台的掩膜台系统 [P]. 
朱煜 ;
张鸣 ;
杨开明 ;
成荣 ;
刘召 ;
刘昊 ;
徐登峰 ;
张利 ;
田丽 ;
叶伟楠 ;
张金 ;
胡金春 ;
穆海华 ;
尹文生 .
中国专利 :CN103116250B ,2013-05-22
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