一种具有六自由度粗动台的掩膜台系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310048778.5

申请日：

2013-02-06

公开(公告)号：

CN103186058A

公开(公告)日：

2013-07-03

发明(设计)人：

张鸣朱煜成荣刘召杨开明刘昊徐登峰田丽张利叶伟楠张金穆海华尹文生胡金春

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H02K4103 G05B1918

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

邸更岩

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-07-03	公开	公开
2015-11-25	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101724099154 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2013100487785 登记生效日:20151103 变更事项:专利权人变更前权利人:清华大学变更后权利人:清华大学变更事项:地址变更前权利人:100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室变更后权利人:100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室变更事项:专利权人变更前权利人:无变更后权利人:北京华卓精科科技股份有限公司
2015-04-15	授权	授权
2013-07-31	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101499123359 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013100487785 申请日:20130206

共 50 条

[1]

带平面衍射光栅测量的具有六自由度粗动台的掩膜台系统 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

成荣 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

刘召 ;

刘昊 ;

田丽 ;

张利 ;

叶伟楠 ;

张金 ;

穆海华 ;

尹文生 ;

胡金春 .

中国专利 :CN103105743A ,2013-05-15

[2]

带激光干涉仪测量的具有六自由度粗动台的掩膜台系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

杨开明 ;

成荣 ;

刘召 ;

刘昊 ;

徐登峰 ;

张利 ;

田丽 ;

叶伟楠 ;

张金 ;

胡金春 ;

穆海华 ;

尹文生 .

中国专利 :CN103116250B ,2013-05-22

[3]

带光电位置探测器测量的六自由度粗动台的掩模台系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

刘召 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

成荣 ;

刘昊 ;

张利 ;

田丽 ;

叶伟楠 ;

张金 ;

尹文生 ;

穆海华 ;

胡金春 .

中国专利 :CN103105742B ,2013-05-15

[4]

六自由度微动台 [P].

王天明 ;

袁志扬 ;

严天宏 .

中国专利 :CN101290476A ,2008-10-22

[5]

一种粗精动一体的磁浮掩膜台系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

刘召 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

田丽 ;

张利 ;

秦慧超 ;

叶伟楠 ;

张金 ;

穆海华 ;

尹文生 ;

胡金春 ;

胡楚雄 ;

赵彦坡 ;

胡清平 .

中国专利 :CN103454864B ,2013-12-18

[6]

一种六自由度微动台 [P].

张雪鹏 ;

郭同健 ;

姜鹏 ;

杨金河 ;

王强龙 .

中国专利 :CN118848898A ,2024-10-29

[7]

一种六自由度磁悬浮工件台 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

宋玉晶 ;

成荣 ;

刘昊 ;

刘召 ;

杨开明 ;

胡金春 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

穆海华 .

中国专利 :CN103066894B ,2013-04-24

[8]

多自由度粗动工件台 [P].

范哲光 ;

齐芊枫 .

中国专利 :CN102109770B ,2011-06-29

[9]

六自由度驱动装置及工件台 [P].

王利臣 ;

王妍智 .

中国专利 :CN221248705U ,2024-07-02

[10]

一种六自由度精密运动台 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119987162A ,2025-05-13

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