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带光电位置探测器测量的六自由度粗动台的掩模台系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201310048284.7
申请日：
2013-02-06
公开(公告)号：
CN103105742B
公开(公告)日：
2013-05-15
发明(设计)人：
朱煜 张鸣 刘召 杨开明 徐登峰 成荣 刘昊 张利 田丽 叶伟楠 张金 尹文生 穆海华 胡金春
申请人：
申请人地址：
100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
G01B1100 H02K4102
代理机构：
北京鸿元知识产权代理有限公司 11327
代理人：
邸更岩
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2013-05-15 公开 公开
2015-12-02 专利申请权、专利权的转移 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101724455709 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2013100482847 登记生效日:20151111 变更事项:专利权人 变更前权利人:清华大学 变更后权利人:清华大学 变更事项:地址 变更前权利人:100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室 变更后权利人:100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室 变更事项:专利权人 变更前权利人:无 变更后权利人:北京华卓精科科技股份有限公司
2013-06-12 实质审查的生效 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101472135588 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013100482847 申请日:20130206
2015-03-04 授权 授权
共 50 条
[1]
带平面衍射光栅测量的具有六自由度粗动台的掩膜台系统 [P]. 
张鸣 ;
朱煜 ;
成荣 ;
杨开明 ;
徐登峰 ;
刘召 ;
刘昊 ;
田丽 ;
张利 ;
叶伟楠 ;
张金 ;
穆海华 ;
尹文生 ;
胡金春 .
中国专利 :CN103105743A ,2013-05-15
[2]
一种具有六自由度粗动台的掩膜台系统 [P]. 
张鸣 ;
朱煜 ;
成荣 ;
刘召 ;
杨开明 ;
刘昊 ;
徐登峰 ;
田丽 ;
张利 ;
叶伟楠 ;
张金 ;
穆海华 ;
尹文生 ;
胡金春 .
中国专利 :CN103186058A ,2013-07-03
[3]
带激光干涉仪测量的具有六自由度粗动台的掩膜台系统 [P]. 
朱煜 ;
张鸣 ;
杨开明 ;
成荣 ;
刘召 ;
刘昊 ;
徐登峰 ;
张利 ;
田丽 ;
叶伟楠 ;
张金 ;
胡金春 ;
穆海华 ;
尹文生 .
中国专利 :CN103116250B ,2013-05-22
[4]
光刻机掩模台六自由度位移测量系统 [P]. 
王磊杰 ;
朱煜 ;
郭子文 ;
张鸣 ;
叶伟楠 ;
成荣 .
中国专利 :CN113758428B ,2021-12-07
[5]
一种具有高灵敏度的光电位置探测器 [P]. 
邢杰 ;
吕惠宾 ;
何萌 ;
金奎娟 ;
刘国珍 ;
周岳亮 ;
杨国桢 .
中国专利 :CN101414645A ,2009-04-22
[6]
位置探测器，带位置探测器的测量仪器及测量系统 [P]. 
宇崎吉彦 .
中国专利 :CN1329813C ,2001-07-18
[7]
六自由度平面电机的位置测量装置 [P]. 
曹广忠 ;
王丽佳 ;
黄苏丹 ;
符兴东 ;
杨晓生 .
中国专利 :CN211696272U ,2020-10-16
[8]
一种带升降真空爪的六自由度微动台 [P]. 
张鸣 ;
朱煜 ;
刘召 ;
成荣 ;
杨开明 ;
徐登峰 ;
张利 ;
赵彦坡 ;
秦慧超 ;
胡清平 ;
田丽 ;
叶伟楠 ;
张金 ;
尹文生 ;
穆海华 ;
胡金春 .
中国专利 :CN103309176A ,2013-09-18
[9]
一种带升降真空爪的六自由度微动台 [P]. 
张鸣 ;
朱煜 ;
刘召 ;
成荣 ;
杨开明 ;
徐登峰 ;
张利 ;
赵彦坡 ;
秦慧超 ;
胡清平 ;
田丽 ;
叶伟楠 ;
张金 ;
尹文生 ;
穆海华 ;
胡金春 .
中国专利 :CN203365915U ,2013-12-25
[10]
直线工作台六自由度运动误差的在线激光测量系统及方法 [P]. 
唐传智 ;
刘文正 ;
邵瀚颉 ;
盛文泽 ;
肖亚利 ;
严佳胜 ;
罗文锦 ;
资志轩 .
中国专利 :CN120212912A ,2025-06-27
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