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带平面衍射光栅测量的具有六自由度粗动台的掩膜台系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201310048772.8
申请日：
2013-02-06
公开(公告)号：
CN103105743A
公开(公告)日：
2013-05-15
发明(设计)人：
张鸣 朱煜 成荣 杨开明 徐登峰 刘召 刘昊 田丽 张利 叶伟楠 张金 穆海华 尹文生 胡金春
申请人：
申请人地址：
100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
G01B1102 G01B1126 H02K4102
代理机构：
北京鸿元知识产权代理有限公司 11327
代理人：
邸更岩
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2013-05-15 公开 公开
2013-06-12 实质审查的生效 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101472135649 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013100487728 申请日:20130206
2015-01-07 授权 授权
2015-11-25 专利申请权、专利权的转移 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101724020845 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2013100487728 登记生效日:20151102 变更事项:专利权人 变更前权利人:清华大学 变更后权利人:清华大学 变更事项:地址 变更前权利人:100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室 变更后权利人:100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室 变更事项:专利权人 变更前权利人:无 变更后权利人:北京华卓精科科技股份有限公司
共 50 条
[1]
一种具有六自由度粗动台的掩膜台系统 [P]. 
张鸣 ;
朱煜 ;
成荣 ;
刘召 ;
杨开明 ;
刘昊 ;
徐登峰 ;
田丽 ;
张利 ;
叶伟楠 ;
张金 ;
穆海华 ;
尹文生 ;
胡金春 .
中国专利 :CN103186058A ,2013-07-03
[2]
带激光干涉仪测量的具有六自由度粗动台的掩膜台系统 [P]. 
朱煜 ;
张鸣 ;
杨开明 ;
成荣 ;
刘召 ;
刘昊 ;
徐登峰 ;
张利 ;
田丽 ;
叶伟楠 ;
张金 ;
胡金春 ;
穆海华 ;
尹文生 .
中国专利 :CN103116250B ,2013-05-22
[3]
带光电位置探测器测量的六自由度粗动台的掩模台系统 [P]. 
朱煜 ;
张鸣 ;
刘召 ;
杨开明 ;
徐登峰 ;
成荣 ;
刘昊 ;
张利 ;
田丽 ;
叶伟楠 ;
张金 ;
尹文生 ;
穆海华 ;
胡金春 .
中国专利 :CN103105742B ,2013-05-15
[4]
光刻机掩模台六自由度位移测量系统 [P]. 
王磊杰 ;
朱煜 ;
郭子文 ;
张鸣 ;
叶伟楠 ;
成荣 .
中国专利 :CN113758428B ,2021-12-07
[5]
基于数字光栅的六自由度齿轮测量系统 [P]. 
刘飞 ;
张圣明 ;
吴明雄 ;
何春桥 ;
赖俊霖 ;
李佳鑫 ;
谢志江 ;
皮阳军 ;
宋代平 .
中国专利 :CN108088387A ,2018-05-29
[6]
光刻机光栅六自由度位移测量系统 [P]. 
王磊杰 ;
朱煜 ;
张晏福 ;
张鸣 ;
叶伟楠 ;
成荣 .
中国专利 :CN114993190A ,2022-09-02
[7]
六自由度平面电机的位置测量装置 [P]. 
曹广忠 ;
王丽佳 ;
黄苏丹 ;
符兴东 ;
杨晓生 .
中国专利 :CN211696272U ,2020-10-16
[8]
一种粗精动一体的磁浮掩膜台系统 [P]. 
朱煜 ;
张鸣 ;
刘召 ;
杨开明 ;
徐登峰 ;
田丽 ;
张利 ;
秦慧超 ;
叶伟楠 ;
张金 ;
穆海华 ;
尹文生 ;
胡金春 ;
胡楚雄 ;
赵彦坡 ;
胡清平 .
中国专利 :CN103454864B ,2013-12-18
[9]
一种带升降真空爪的六自由度微动台 [P]. 
张鸣 ;
朱煜 ;
刘召 ;
成荣 ;
杨开明 ;
徐登峰 ;
张利 ;
赵彦坡 ;
秦慧超 ;
胡清平 ;
田丽 ;
叶伟楠 ;
张金 ;
尹文生 ;
穆海华 ;
胡金春 .
中国专利 :CN103309176A ,2013-09-18
[10]
一种带升降真空爪的六自由度微动台 [P]. 
张鸣 ;
朱煜 ;
刘召 ;
成荣 ;
杨开明 ;
徐登峰 ;
张利 ;
赵彦坡 ;
秦慧超 ;
胡清平 ;
田丽 ;
叶伟楠 ;
张金 ;
尹文生 ;
穆海华 ;
胡金春 .
中国专利 :CN203365915U ,2013-12-25
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