机械手臂及其检测系统和检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510074993.1

申请日：

2015-02-12

公开(公告)号：

CN104690736B

公开(公告)日：

2015-06-10

发明(设计)人：

段亚拉李超韩宏光刘竞

申请人：

申请人地址：

四川省成都市高新西区天源路88号

IPC主分类号：

B25J1308

IPC分类号：

B25J1800

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

王宝筠

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-10	公开	公开
2015-07-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101616041825 IPC(主分类):B25J 13/08 专利申请号:2015100749931 申请日:20150212
2017-03-08	授权	授权

共 50 条

[1]

机械手臂及其检测系统 [P].

郑学智 ;

王信阳 .

中国专利 :CN112825056A ,2021-05-21

[2]

机械手臂和晶圆位置偏移检测系统、检测方法 [P].

杨恩宇 .

中国专利 :CN111668131A ,2020-09-15

[3]

机械手臂位置检测装置及检测方法 [P].

张永盛 .

中国专利 :CN120095891A ,2025-06-06

[4]

机械手臂的检测装置与检测方法 [P].

张光云 ;

李伯良 .

中国专利 :CN105983978A ,2016-10-05

[5]

机械手臂和晶圆位置偏移检测系统 [P].

杨恩宇 .

中国专利 :CN209434156U ,2019-09-24

[6]

机台之机械手臂偏移的检测装置及其检测方法 [P].

何理 ;

许向辉 ;

郭贤权 ;

陈超 .

中国专利 :CN104022055B ,2014-09-03

[7]

机械手臂表面金属污染检测方法 [P].

王硕 ;

许忠义 .

中国专利 :CN102095599A ,2011-06-15

[8]

机械手臂、掩膜检测装置、及掩膜检测系统 [P].

孙飞 ;

张仕然 .

中国专利 :CN113524256A ,2021-10-22

[9]

机械手臂校正系统和机械手臂校正方法 [P].

方泰又 ;

刘冠君 ;

卢佳源 .

中国专利 :CN112114909B ,2024-03-15

[10]

机械手臂校正系统和机械手臂校正方法 [P].

方泰又 ;

刘冠君 ;

卢佳源 .

中国专利 :CN112114909A ,2020-12-22

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