机械手臂的检测装置与检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510039855.X

申请日：

2015-01-27

公开(公告)号：

CN105983978A

公开(公告)日：

2016-10-05

发明(设计)人：

张光云李伯良

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹科学工业园区

IPC主分类号：

B25J1902

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

陈小雯

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-11-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101686543856 IPC(主分类):B25J 19/02 专利申请号:201510039855X 申请日:20150127
2016-10-05	公开	公开
2018-11-02	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B25J 19/02 申请公布日:20161005

共 50 条

[1]

机械手臂位置检测装置及检测方法 [P].

张永盛 .

中国专利 :CN120095891A ,2025-06-06

[2]

机台之机械手臂偏移的检测装置及其检测方法 [P].

何理 ;

许向辉 ;

郭贤权 ;

陈超 .

中国专利 :CN104022055B ,2014-09-03

[3]

机械手臂及其检测系统和检测方法 [P].

段亚拉 ;

李超 ;

韩宏光 ;

刘竞 .

中国专利 :CN104690736B ,2015-06-10

[4]

机械手臂表面金属污染检测方法 [P].

王硕 ;

许忠义 .

中国专利 :CN102095599A ,2011-06-15

[5]

机械手位置异常的检测方法与检测装置 [P].

吴标平 ;

吴洽 ;

聂鹏 .

中国专利 :CN115342730A ,2022-11-15

[6]

隧道衬砌检测机械手臂 [P].

刘杰 ;

韩自力 ;

张千里 ;

马伟斌 ;

杜翠 ;

程远水 ;

张弛 .

中国专利 :CN108362323A ,2018-08-03

[7]

机械手臂及其检测系统 [P].

郑学智 ;

王信阳 .

中国专利 :CN112825056A ,2021-05-21

[8]

一种机械手臂制造的高效率检测装置 [P].

程卫清 .

中国专利 :CN112629359A ,2021-04-09

[9]

机械手臂、掩膜检测装置、及掩膜检测系统 [P].

孙飞 ;

张仕然 .

中国专利 :CN113524256A ,2021-10-22

[10]

机械手臂和晶圆位置偏移检测系统、检测方法 [P].

杨恩宇 .

中国专利 :CN111668131A ,2020-09-15

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