半导体制造机台电脑系统监控方法及系统

被引：0

申请号：

CN202110924823.3

申请日：

2021-08-12

公开(公告)号：

CN115705429A

公开(公告)日：

2023-02-17

发明(设计)人：

崔勇华智芳李美红奚月浩

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区文昌大道18号

IPC主分类号：

G06F2156

IPC分类号：

代理机构：

北京市一法律师事务所 11654

代理人：

刘荣娟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-17	公开	公开

共 50 条

[1]

半导体制造机台的状况监控方法及半导体制造系统 [P].

潘信华 ;

罗忠文 ;

徐宗本 .

中国专利 :CN110504186B ,2019-11-26

[2]

半导体制造机台的参数监控系统及方法 [P].

康盛 ;

王晓韬 .

中国专利 :CN105573269A ,2016-05-11

[3]

制造机台的状况监控方法、半导体制造系统及其监控方法 [P].

林弘青 ;

涂纪诚 ;

陈卿云 ;

蔡育奇 ;

林泰翔 ;

黄楙智 .

中国专利 :CN109725555A ,2019-05-07

[4]

阀门及半导体制造机台 [P].

蔺伟伟 .

中国专利 :CN222977564U ,2025-06-13

[5]

半导体制造车间环境监控系统 [P].

施燕莉 ;

李广宁 .

中国专利 :CN203773330U ,2014-08-13

[6]

调整机台设定的方法、制造控制系统、及半导体制造系统 [P].

陈建中 ;

萧世宗 ;

林明昌 ;

许家诚 .

中国专利 :CN1920720A ,2007-02-28

[7]

半导体制造方法及系统 [P].

许志维 ;

郑育真 ;

刘文斌 ;

王舜屏 ;

卢欣荣 ;

王若飞 ;

牟忠一 ;

曾衍迪 ;

林俊贤 .

中国专利 :CN102063063A ,2011-05-18

[8]

半导体制造方法及系统 [P].

余振华 ;

许呈锵 ;

萧义理 ;

柯俊成 .

中国专利 :CN101145501A ,2008-03-19

[9]

半导体制造方法及系统 [P].

李寿雄 .

中国专利 :CN113078084A ,2021-07-06

[10]

半导体制造系统、测量装置及半导体制造方法 [P].

简志叡 ;

黄韦智 .

中国专利 :CN114783901A ,2022-07-22

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