阀门及半导体制造机台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420698649.4

申请日：

2024-04-07

公开(公告)号：

CN222977564U

公开(公告)日：

2025-06-13

发明(设计)人：

蔺伟伟

申请人：

芯恩（青岛）集成电路有限公司

申请人地址：

266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401

IPC主分类号：

F16K49/00

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

朱笑宇

法律状态：

授权

国省代码：

山东省青岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-13	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体制造机台的状况监控方法及半导体制造系统 [P].

潘信华 ;

罗忠文 ;

徐宗本 .

中国专利 :CN110504186B ,2019-11-26

[2]

基底固定装置及半导体制造机台 [P].

袁伟杰 .

中国专利 :CN209544301U ,2019-10-25

[3]

一种半导体制造机台 [P].

胡万春 .

中国专利 :CN210489583U ,2020-05-08

[4]

半导体制造设备及半导体制造方法 [P].

林含谕 ;

詹易叡 ;

李芳苇 ;

林立德 ;

林斌彦 ;

林执中 .

中国专利 :CN110323151B ,2019-10-11

[5]

半导体制造机台的参数监控系统及方法 [P].

康盛 ;

王晓韬 .

中国专利 :CN105573269A ,2016-05-11

[6]

半导体制造装置、半导体制造工厂及半导体制造方法 [P].

南出由生 ;

和田直之 .

日本专利 :CN120418927A ,2025-08-01

[7]

半导体制程机台 [P].

汤广年 ;

范扬楷 ;

苏裕盛 ;

江明晁 ;

石育政 .

中国专利 :CN101315870A ,2008-12-03

[8]

半导体制程机台 [P].

杨胜钧 ;

林艺民 ;

谢主翰 ;

李佳蓉 ;

郑智龙 ;

黄柏智 .

中国专利 :CN113113326A ,2021-07-13

[9]

半导体制程机台 [P].

杨胜钧 ;

林艺民 ;

谢主翰 ;

李佳蓉 ;

郑智龙 ;

黄柏智 .

中国专利 :CN113113326B ,2024-12-27

[10]

半导体制程机台 [P].

张远光 ;

吴锦龙 ;

林沧荣 ;

陈立仁 ;

陈钦聪 .

中国专利 :CN1485883A ,2004-03-31

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