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一种半导体制造机台
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921735955.6
申请日：
2019-10-16
公开(公告)号：
CN210489583U
公开(公告)日：
2020-05-08
发明(设计)人：
胡万春
申请人：
申请人地址：
430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
C23C1644
代理机构：
上海申新律师事务所 31272
代理人：
俞涤炯
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-05-08 | 授权 | 授权 |