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基底固定装置及半导体制造机台
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920399880.2
申请日：
2019-03-27
公开(公告)号：
CN209544301U
公开(公告)日：
2019-10-25
发明(设计)人：
袁伟杰
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张东路1525号
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
代理机构：
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人：
王宏婧
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-10-25 | 授权 | 授权 |