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一种半导体制造机台的控制方法及系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510017551.7
申请日：
2025-01-06
公开(公告)号：
CN119472448B
公开(公告)日：
2025-04-01
发明(设计)人：
李树盛 许莹 冯白羽
申请人：
北京珂阳科技有限公司
申请人地址：
100176 北京市通州区经济技术开发区西环南路26号院30号楼（嘉捷科技园A座）6层-605
IPC主分类号：
G05B19/042
IPC分类号：
代理机构：
北京星通盈泰知识产权代理有限公司 11952
代理人：
黄正奇
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
安徽省 宣城市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-03-07 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G05B 19/042申请日:20250106
2025-04-01 授权 授权
2025-02-18 公开 公开
共 50 条
[1]
一种半导体制造机台的控制方法及系统 [P]. 
李树盛 ;
许莹 ;
冯白羽 .
中国专利 :CN119472448A ,2025-02-18
[2]
半导体制造机台的状况监控方法及半导体制造系统 [P]. 
潘信华 ;
罗忠文 ;
徐宗本 .
中国专利 :CN110504186B ,2019-11-26
[3]
一种半导体制造机台 [P]. 
胡万春 .
中国专利 :CN210489583U ,2020-05-08
[4]
阀门及半导体制造机台 [P]. 
蔺伟伟 .
中国专利 :CN222977564U ,2025-06-13
[5]
半导体制造机台的参数监控系统及方法 [P]. 
康盛 ;
王晓韬 .
中国专利 :CN105573269A ,2016-05-11
[6]
半导体制造机台电脑系统监控方法及系统 [P]. 
崔勇 ;
华智芳 ;
李美红 ;
奚月浩 .
中国专利 :CN115705429A ,2023-02-17
[7]
制造机台的状况监控方法、半导体制造系统及其监控方法 [P]. 
林弘青 ;
涂纪诚 ;
陈卿云 ;
蔡育奇 ;
林泰翔 ;
黄楙智 .
中国专利 :CN109725555A ,2019-05-07
[8]
半导体制造设备、半导体制造方法 [P]. 
宓晓宇 ;
高桥岳雄 .
中国专利 :CN119920738A ,2025-05-02
[9]
半导体制造方法及半导体装置 [P]. 
谢欣云 .
中国专利 :CN108962823B ,2018-12-07
[10]
半导体制造方法及半导体结构 [P]. 
林本付 ;
郭顺华 ;
杨同同 .
中国专利 :CN119864322A ,2025-04-22
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