安全检测装置及晶圆修边机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821356921.1

申请日：

2018-08-22

公开(公告)号：

CN208645079U

公开(公告)日：

2019-03-26

发明(设计)人：

刘博佳王海宽吴龙江林宗贤

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

B24B4914

IPC分类号：

B24B5500 B24B4900 B24B906

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-26	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆修边机 [P].

朱松 ;

万先进 ;

张怀东 ;

边逸军 .

中国专利 :CN308494819S ,2024-03-01

[2]

晶圆在位检测装置、晶圆托架以及晶圆在位检测方法 [P].

路新春 ;

沈攀 ;

王同庆 ;

何永勇 .

中国专利 :CN102931115A ,2013-02-13

[3]

晶圆在位检测装置、晶圆托架以及晶圆在位检测方法 [P].

沈攀 ;

路新春 .

中国专利 :CN107546145A ,2018-01-05

[4]

晶圆在位检测装置以及晶圆在位检测方法 [P].

路新春 ;

沈攀 ;

何永勇 .

中国专利 :CN102496587A ,2012-06-13

[5]

晶圆的检测装置及晶圆的检测方法 [P].

苏旭文 ;

戎淇舰 ;

吕天爽 ;

蒙亮亮 .

中国专利 :CN120933184A ,2025-11-11

[6]

晶圆修边方法及晶圆修边机台 [P].

张志军 ;

杨一凡 ;

温川江 ;

杨雪 ;

高志强 .

中国专利 :CN115172142B ,2024-10-18

[7]

晶圆中心检测装置 [P].

傅仁宏 ;

王孝伟 ;

王娴华 .

中国专利 :CN217507291U ,2022-09-27

[8]

晶圆位置检测装置 [P].

王昕昀 ;

孟杰 ;

薛波 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208954953U ,2019-06-07

[9]

晶圆检测方法及晶圆检测装置 [P].

苏旭文 .

中国专利 :CN119601486A ,2025-03-11

[10]

晶圆对准光学检测装置及晶圆对准检测系统 [P].

谭博宁 ;

张鸣 .

中国专利 :CN120878584A ,2025-10-31

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