浅沟槽隔离结构及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811522098.1

申请日：

2018-12-13

公开(公告)号：

CN109637972A

公开(公告)日：

2019-04-16

发明(设计)人：

林永璨黄晓橹

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

H01L27146 H01L2702

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

周阳君

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/762 申请日:20181213
2019-04-16	公开	公开
2021-03-19	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/762 申请公布日:20190416

共 50 条

[1]

浅沟槽隔离结构及其形成方法 [P].

田俊 ;

黄永彬 ;

王永刚 .

中国专利 :CN109637973A ,2019-04-16

[2]

浅沟槽隔离结构及其形成方法 [P].

禹国宾 .

中国专利 :CN106856189A ,2017-06-16

[3]

浅沟槽隔离结构及其形成方法 [P].

宋化龙 .

中国专利 :CN103377981B ,2013-10-30

[4]

浅沟槽隔离结构及其形成方法 [P].

蒲贤勇 ;

陈轶群 ;

陈宗高 .

中国专利 :CN104347473A ,2015-02-11

[5]

浅沟槽隔离结构及其形成方法 [P].

赵猛 .

中国专利 :CN106298630B ,2017-01-04

[6]

浅沟槽隔离结构及其形成方法 [P].

任小兵 ;

熊伟 ;

陈华伦 .

中国专利 :CN111128854A ,2020-05-08

[7]

浅沟槽隔离结构及其形成方法 [P].

赵猛 .

中国专利 :CN104103516B ,2014-10-15

[8]

浅沟槽隔离结构及其形成方法 [P].

王国华 ;

吴汉明 .

中国专利 :CN101577252B ,2009-11-11

[9]

浅沟槽隔离结构形成方法 [P].

何永根 ;

涂火金 .

中国专利 :CN102468212B ,2012-05-23

[10]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

王飞飞 ;

张继亮 ;

李小康 ;

王裕晓 .

中国专利 :CN113223995A ,2021-08-06

← 1 2 3 4 5 →