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一种高静压单晶硅差压传感器的差压传感方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110015863.6
申请日：
2021-01-07
公开(公告)号：
CN112345158B
公开(公告)日：
2021-02-09
发明(设计)人：
童辉
周鹏
宋礼明
朱成伟
陈修
申请人：
申请人地址：
210007 江苏省南京市秦淮区石杨路116号2层
IPC主分类号：
G01L1906
IPC分类号：
G01L1302
代理机构：
南京鑫之航知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32410
代理人：
姚兰兰
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-09 | 公开 | 公开 |
| 2021-05-28 | 授权 | 授权 |
| 2021-03-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 19/06 申请日:20210107 |