研磨头

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120054526.X

申请日：

2011-03-03

公开(公告)号：

CN202053163U

公开(公告)日：

2011-11-30

发明(设计)人：

陈枫

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

B24B3704

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-19	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):B24B 37/04 申请日:20110303 授权公告日:20111130
2013-04-24	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101576024767 IPC(主分类):B24B 37/04 专利号:ZL201120054526X 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20130403
2011-11-30	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨头和研磨装置 [P].

陈枫 .

中国专利 :CN202088088U ,2011-12-28

[2]

研磨头和研磨装置 [P].

冯惠敏 .

中国专利 :CN202428311U ,2012-09-12

[3]

研磨环结构以及研磨头 [P].

黄高 ;

宋闯 ;

田茂 .

中国专利 :CN209579181U ,2019-11-05

[4]

研磨机构、研磨头、研磨装置及研磨方法 [P].

坂下干也 ;

松井之辉 ;

侧濑聪文 .

中国专利 :CN112936089A ,2021-06-11

[5]

研磨头、研磨垫修整器及研磨装置 [P].

陈枫 .

中国专利 :CN202053157U ,2011-11-30

[6]

晶元研磨装置的研磨头 [P].

孙准晧 .

中国专利 :CN206662962U ,2017-11-24

[7]

研磨头及化学机械研磨装置 [P].

沈新林 ;

王海宽 ;

郭松辉 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208663469U ,2019-03-29

[8]

晶圆研磨装置高速研磨头 [P].

陈琳 .

中国专利 :CN209681910U ,2019-11-26

[9]

研磨头及化学机械研磨设备 [P].

王庆玲 ;

邵群 .

中国专利 :CN202200170U ,2012-04-25

[10]

研磨头及化学机械研磨装置 [P].

吴立君 .

中国专利 :CN110253426A ,2019-09-20

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